研究課題
基盤研究(A)
積層型画素を有するイメージセンサー素子の実現可能性を明らかにするために、吸収スペクトル・分光感度特性を基にSiの光学フィルタとしての特性を評価した。その結果、色再現の際の色の分離、ホワイトバランス向上のためには、積層型画素の積層数をできるだけ増やした方が良いことが分かった。積層型画素を有するイメージセンサー素子では、反射防止膜の最適化が重要であることも分かった。多層積層型イメージセンサー素子の光学フィルタとしての機能を中心に、3次元積層型イメージセンサーLSIとしての特性を評価するために、多層Siフィルタを搭載した3次元積層型イメージセンサーLSIを試作し、動作させることに成功した。
集積回路工学
