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本研究では、マイクロ球の直径を10ナノメートル以下の精度で計測するため、Whispering gallery mode (WGM)共振という現象を用いた新しい計測原理を提案した。実験において測定したWGM共振波長から3種のモード番号および偏光状態を決定し、それを基に直径を求める解析手法を提案した。その手法を用いて、65.244μmのマイクロガラス球を10 nmのばらつきで計測することに成功した。また、真球ではなく回転楕円体に関する分散式を導出し、今後のより汎用性の高い球測定に関する理論の発展を行った。
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