ナノ磁気クラスタによる微細複雑形状に対する形状精度を保持した超精密研磨の開発研究

2017 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 15K05739
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 富山高等専門学校
• 研究代表者: 西田 均 富山高等専門学校, 電気制御システム工学科, 教授 (00390435)
• 連携研究者: 島田 邦雄 福島大学, 共生システム理工学類, 教授 (80251883) ; 井門 康司 名古屋工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40221775) ; 池田 愼治 富山高等専門学校, 電気制御システム工学科, 准教授 (50361126) ; 山本 久嗣 富山高等専門学校, ソリューションセンター, 助教 (80734409)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• キーワード: 磁気機能性流体 / 磁気クラスタ / 精密研磨 / 微細構造表面 / 形状精度 / せん断応力

研究成果の概要

本研究ではナノ磁気クラスタを形成する磁気混合流体(NMCF)を開発して，硬靱性材料に対する研磨性能を調べた．また，磁気混合流体(MCF)を用いた場合の平面研磨に及ぼす磁場強度の影響と複雑形状および微細構造に対する精密研磨の特性を明らかにした．これらの研究結果を基に，微細形状表面研磨に対応できる新型の研磨実験装置を開発した．

自由記述の分野

流体工学，生産・加工