静電吸着法を用いてポリメタクリル酸メチル(PMMA)/六方晶窒化ホウ素(hBN)コンポジット絶縁材料を作製した。 hBNの鱗片面が試料の厚さ方向に対して平行方向に配向した(CMP)試料の絶縁破壊の強さはhBNの鱗片面が試料の厚さ方向対して平行方向に配向した(NV)試料のそれより低下した。一方、熱伝導率は絶縁破壊の強さと逆の関係性を示した。hBNの配向方向とhBNとPMMAの界面方向がこれらに影響を及ぼしていると考えられた。 開発したコンポジット材料の特性はホットプレス時の圧力等のパラメータを変化させることにより容易に制御できる可能性があることが示唆された。
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