本研究では、歯の振動に着目した食品テクスチャの計測を行った。ヒトは食品を咀嚼する際、噛み応えなどの食感(食品テクスチャ)を歯の根元にある歯根膜で振動として感知している。そこで、ヒトが食品を咀嚼する際の歯の振動を計測することにより、ヒトが感じている噛み応えを直接計測した。 本研究では、歯の振動計測用センサとして、シリコンピエゾ抵抗効果を利用したMEMS振動センサを作製した。センサの構造は、MEMS技術により作製した、ピエゾ抵抗効果を利用した長さ200 μm、幅100 μm、厚さ0.3 μmのカンチレバー型の力センサを、液体と空気の界面に配置したものである。
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