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強誘電体は，強い焦電性（温度変化による分極）及び圧電性（応力による分極）を併せ持つため，携帯電話用SAWフィルタなどへの応用が期待される一方，加工時の高い圧力と温度に晒され，結晶の対称性が破れ極めて脆く割れ易い難加工材料である．
本研究は，まず，温度変化によりLiTaO3の硬度が20%，破壊靭性が45%ほど低下することを押込実験で解明した．圧電・焦電効果による内部応力が研削中LTウエハの作用力の8～9割を占め，ウエハを破壊する主因であることを理論的な推定した．最後に①研削液の温度制御，②電解質添加による表面電荷の中和二つの方策を考案し，LTウエハを100um以下に薄く研削しその有効性を検証した．
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