酸化亜鉛のナノワイヤに比べ10倍以上大きな圧電特性(ピエゾ特性)を示すチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノワイヤを、テーラード基板を用いて狙った場所にピンポイントで成長させる手法を開発することを目的とした。 ナノインプリント法で基板上にトレンチ構造及びPZTナノ島構造を有する基板を作製した。その結果、高さ40nm幅80nmのナノ島構造の作製に成功した。また、トレンチ構造を有する基板上にパルスレーザー堆積法でPZTを堆積した結果、トレンチで囲まれたナノ島と同じ形状でPZTがギャップを持って成長した。このことからナノ島の形状と間隔を制御することで、ナノワイヤの形状と直径が制御できる可能性が示された。
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