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本研究では中～遠赤外線に対応した波長程度の微細構造を持つメタマテリアルを耐火性材料を用いて作製するプロセスを開発し、作製した構造の物性を評価することを目的とした。大気中高温に耐える耐火性材料の利用により高温における熱の制御、赤外線光学部品などへの応用が可能となる。さまざまな高融点材料の薄膜を作製し微細加工と透明薄膜でのコーティングによる高温大気安定性を検討した。その結果、MoSi2を主成分とする薄膜の作製とμmスケールの微細加工プロセスを開発することができ、赤外発光特性を評価してほぼ所定の結果を得た。
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