研究課題
若手研究(B)
超伝導トンネル接合(STJ)を用いたX線検出器は、シリコンドリフト検出器(SDD)などのエネルギー分散型X線検出器より高いエネルギー分解能を実現している。本研究では、1000素子を超えるSTJアレイ検出器が実現可能な素子構造の開発を行った。埋め込み超伝導配線構造上に1024素子STJアレイを作製し、1024素子の平均リーク電流12.2nAを実現した。銅を埋め込んだシリコン貫通電極(TSV)を作製した。直径60μmの貫通穴に銅を隙間なく埋め込むことが出来た。
超伝導エレクトロニクス