研究課題
若手研究(B)
本研究では、複数種のガスを検知できる複数個のセンサ素子の配列(アレイ)のプラットフォーム構造(ガスを検知する感応膜を形成する前の共通構造)となる弾性表面波(SAW)デバイス素子を作製した。さらに、それらの素子間を構造的に分離するための3次元溝構造も同一基板上に複数配置させた「3次元溝構造を有するSAWデバイス素子アレイ」の作製プロセスの確立、および、それらのデバイスの特性評価などにより、微小な分析用チャンバー内への配置に適したセンサアレイチップの実現につなげていくことを目的とした。
マイクロデバイス、微細加工