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2008 年度 研究成果報告書

ナノ・マイクロ立体加工技術の開発と次世代マイクロアクチュエータへの展開

研究課題

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研究課題/領域番号 16078212
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

服部 正  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (70326297)

研究分担者 石垣 博之  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40081244)
内海 裕一  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (80326298)
銘苅 春隆  独立行政法人産業技術総合研究所, 先進製造プロセス研究部門 (30321681)
野田 大二  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (00378267)
研究期間 (年度) 2004 – 2008
キーワードLIGAプロセス / X線リソグラフィ / マイクロアクチュエータ / 三次元構造体 / 高アスペクト比加工 / マイクロマシン / マイクロシステム / MEMS
研究概要

本研究は,リソグラフィ,金型作製,成形を一連とするLIGAプロセスを基盤としたマイクロ・ナノ立体加工技術の開発と,次世代マイクロアクチュエータへの展開を行うものである.従来のリソグラフィ技術では加工深さ方向に垂直となる2.5次元的な構造体しか得られていなかった.しかし,このトータルLIGAプロセスによる加工技術は,機械加工等では達成できない微細領域の加工を可能とする手法であり,超微細立体加工技術のブレイクスルーを生み出す要素技術である.これまでに,3次元X線リソグラフィ技術,平坦性が良く応力の小さなマイクロ金型,ロールホットエンボス技術による微細パターンの量産化技術の開発を進め,精密で高精度な成形品を量産できる技術開発を進めてきた.さらに,X線リソグラフィにおける露光ステージを多軸化することで円筒形状表面に3次元構造を加工する技術を開発し,微細細線となるマイクロコイルの作製へ展開してきた.構造の複雑さ故に小型化に伴い得られる出力が低下する問題を有するマイクロコイルであるが,微細高アスペクト比の細線構造としたマイクロコイルを利用することを提案し,電磁型マイクロアクチュエータのブレイクスルーを目指して研究に取り組んだ.その結果,X線リソグラフィ技術により微細細線の深溝加工を行い,銅めっきにてコイルラインを形成して,コイルを完成させることが出来た.作製したコイルラインのアスペクト比を向上させるとマイクロコイルの性能は飛躍的に向上することも実証した.今後は更なるプロセス技術開発を進めることでマイクロアクチュエータの新たな展開を行う.

  • 研究成果

    (97件)

すべて 2009 2008 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 (24件) (うち査読あり 18件) 学会発表 (71件) 図書 (2件)

  • [雑誌論文] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2009

    • 著者名/発表者名
      野田大二,服部正
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 Vol.17

      ページ: 162-167

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of High Aspect Ratio Microcoil Using Dipping Method2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, S. Yamashita, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2007 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mecha- tronics and Human Science Vol.2

      ページ: 174-179

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Electromagnetic Actuators2008

    • 著者名/発表者名
      M. Setomoto, Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.2

      ページ: 238-245

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Microcoils Using X-ray Lithography and Metallization2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 雑誌名

      IEEJ Transaction on Sensors and Micromachines Vol.128

      ページ: 181-185

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cylindrical Coils Created with 3D X-ray Lithography and Metallization for Electromagnetic Actuators2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsumoto, M. Setomoto, D. Noda, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies Vol.14

      ページ: 1371-1379

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Microcoil with Narrow and High Aspect Ratio Lines for Electromagnetic Actuators2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, M. Setomoto, and T. Hattori,
    • 雑誌名

      Proceed ings of the 2008 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mecha- tronics and Human Science

      ページ: 219-224

  • [雑誌論文] Fabrication and Estimation of Electromagnetic Type Micro-Actuator with Microcoil2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, M. Setomoto, Y. Kobayashi, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the Society of Photo- Optical Instrumentation Engineering Vol.7268

      ページ: 7268021-7268028

  • [雑誌論文] LIGAプロセスの三次元化とスパイラル型マイクロコイルの作製2007

    • 著者名/発表者名
      銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
    • 雑誌名

      電気学会論文誌C電子・情報・システム部門誌 Vol.127

      ページ: 160-166

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of a Spiral Microcoil Using a 3D-LIGA Process2007

    • 著者名/発表者名
      H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies Vol.13

      ページ: 393-402

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2007

    • 著者名/発表者名
      服部正,野田大二
    • 雑誌名

      電気学会誌 Vol.127

      ページ: 288-290

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2007

    • 著者名/発表者名
      服部正,野田大二
    • 雑誌名

      日本設備管理会 Vol.19

      ページ: 9-14

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of Solenoidal Electromagnetic Micro- actuator Utilizing 3D X-ray Lithography and Metallization2007

    • 著者名/発表者名
      H. Mochizuki, H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shiada, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies Vol.13

      ページ: 547-550

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and Estimation of Microcoils Using LIGA Process2007

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the 24th Sensor Symposium on Sensors, Micromach- ines, and Applied Systems

      ページ: 161-164

  • [雑誌論文] Fabrication of Coil Lines with High Aspect Ratio for Electromagnetic Actuators2007

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2007 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mecha- tronics and Human Science

      ページ: 436-441

  • [雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro- Coil Utilizing LIGA Process2006

    • 著者名/発表者名
      O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, and T. Hattori
    • 雑誌名

      JSME International Journal Vol.49

      ページ: 74-78

    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロアクチュエータの製造技術2006

    • 著者名/発表者名
      服部正,野田大二
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 Vol.14

      ページ: 174-179

    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロ3次元構造体の加工と今後の展開2006

    • 著者名/発表者名
      服部正
    • 雑誌名

      電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌 Vol.126

      ページ: 211-215

    • 査読あり
  • [雑誌論文] An Electromagnetic Actuators Using a Cylindrical Coil Created with 3D X-ray Lithography and Metallization Techniques2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2006 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatro- nics and Human Science

      ページ: 143-148

  • [雑誌論文] マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術2006

    • 著者名/発表者名
      服部正
    • 雑誌名

      月刊 MATERIAL STAGE Vol.5

      ページ: 43-48

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabri- cation of High Aspect Ratio Coil for Microactuators using LIGA Process2006

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, S. Yamashita, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the Society of Photo- Optical Instrumentation Engineering Vol.6414

      ページ: 64141H1-64141H8

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 世代マイクロアクチュエータと超微細3次元加工技術2005

    • 著者名/発表者名
      服部正
    • 雑誌名

      機械の研究 Vol.57

      ページ: 527-534

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of Three Dimensional LIGA Process to Fabricate Spiral Micro- coil2005

    • 著者名/発表者名
      H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44

      ページ: 5749-5754

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Mold Master for Spiral Microcoil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation2004

    • 著者名/発表者名
      H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.43

      ページ: 4036-4040

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro-Coil Utiliz- ing LIGA Process2004

    • 著者名/発表者名
      O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Yamashita, and T. Hattori
    • 雑誌名

      Proceedings of the International Conference on Electrical Engineering 2004

      ページ: 553-556

  • [学会発表] 無電解めっき法によるマイクロコイル用シード層の検討2009

    • 著者名/発表者名
      小林雄貴,瀬戸本勝,山下健治,野田大二,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2008年度第4回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20090300
  • [学会発表] 次世代アクチュエータ研究の成果2009

    • 著者名/発表者名
      野田大二,服部正
    • 学会等名
      先端技術セミナー2009
    • 発表場所
      イーグレ姫路
    • 年月日
      20090300
  • [学会発表] マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2009

    • 著者名/発表者名
      野田大二,瀬戸本勝,小林雄貴,服部正
    • 学会等名
      先端技術セミナー2009
    • 発表場所
      イーグレ姫路
    • 年月日
      20090300
  • [学会発表] 無電解ニッケル-ホウ素めっき法を用いた高硬度金型の作製2008

    • 著者名/発表者名
      佐和吉敬,山下健治,北谷武,野田大二,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会平成20年度創立20周年記念大会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜,OS2-4
    • 年月日
      20081200
  • [学会発表] Fabrication and Estimation of Electromagnetic Type Micro-Actuator with Microcoil2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, M. Setemoto, Y. Kobayashi, and T. Hattori
    • 学会等名
      SPIE International Symposium on Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems
    • 発表場所
      RMIT University, Melbourne, Australia, 7268-01
    • 年月日
      20081200
  • [学会発表] Fabrication of Microcoil with Narrow and High Aspect Ratio Lines for Electromagnetic Actuators2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 学会等名
      2008 Inter- national Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya, Japan, SA2-1
    • 年月日
      20081100
  • [学会発表] マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2008

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      横浜国立大学,3203
    • 年月日
      20080800
  • [学会発表] Fabrication of Narrow Pitch and High Aspect Ratio Microcoil for Electromagnetic Micro- actuators2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, D. Ochi, and T. Hattori
    • 学会等名
      11th International Conf- erence on New Actuators and 5th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems (Actuator 2008)
    • 発表場所
      Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P065
    • 年月日
      20080600
  • [学会発表] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Micro Actuators Using X-ray Lithography and Metallization2008

    • 著者名/発表者名
      M. Setomoto, Y. Matsumoto, D. Noda, and T. Hattori
    • 学会等名
      1th International Conference on New Actuators and 5th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
    • 発表場所
      Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P066
    • 年月日
      20080600
  • [学会発表] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2008

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      別府ビーコンプラザ,23B3-1
    • 年月日
      20080500
  • [学会発表] Development of a New Nano-Micro Solid Processing Technology Based on a LIGA Process and a Next-Generation Micro Actua- tors2008

    • 著者名/発表者名
      D. Noda and T. Hattori
    • 学会等名
      The 2nd International Sympo- sium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
    • 発表場所
      APA Hotel & Resort Tokyo Bay Makuhari, Chiba, Japan, B3-1
    • 年月日
      20080400
  • [学会発表] LIGAプロセスによる電磁アクチュエータの作製2008

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会第8回機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      倉敷アイビースクエア,1301
    • 年月日
      20080400
  • [学会発表] マイクロコイルを用いた電磁型アクチュエータの作製2008

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,越智大介,服部正
    • 学会等名
      先端技術セミナー2008
    • 発表場所
      イーグレ姫路
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] 円筒型マイクロコイルを用いた電磁ソレノイドの作製2008

    • 著者名/発表者名
      松本吉史,瀬戸本勝,越智大介,野田大二,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2007年度第4回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] 大面積電鋳装置の開発と大面積金型作製技術2008

    • 著者名/発表者名
      木村太郎,山下健治,西田諭史,北谷武,佐和吉敬,野田大二,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2007年度第4回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] 円筒型マイクロコイルを用いた電磁駆動型アクチュエータの作製2008

    • 著者名/発表者名
      松本吉史,瀬戸本勝,越智大介,野田大二,服部正
    • 学会等名
      精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      明治大学,H19
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] ディッピング法を用いた立体マイクロコイルラインの形成2008

    • 著者名/発表者名
      瀬戸本勝,松本吉史,越智大介,野田大二,服部正
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学,3-117
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] X線リソグラフィによるマイクロコイルの製作2008

    • 著者名/発表者名
      越智大介,瀬戸本勝,松本吉史,野田大二,服部正
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学,3-118
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] 二層ニッケル電鋳による高強度マイクロ金型の作製2008

    • 著者名/発表者名
      木村太郎,佐和吉敬,山下健治,北谷武,山下満,野田大二,服部正
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学,3-119
    • 年月日
      20080300
  • [学会発表] マイクロコイルの製作2007

    • 著者名/発表者名
      服部正,佐藤憲昭,山下満,島田修
    • 学会等名
      日本設備管理学会平成17年度秋季研究発表大会
    • 発表場所
      四国電力(株)総合研修所,C1.1
    • 年月日
      20071100
  • [学会発表] Fabrication of Coil Lines with High Aspect Ratio for Electromagnetic Actuators2007

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 学会等名
      2007 Inter- national Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya, Japan, TA2-2-4
    • 年月日
      20071100
  • [学会発表] LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製2007

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      第15回機械材料・材料加工技術講演会
    • 発表場所
      長岡技術科学大学,116
    • 年月日
      20071100
  • [学会発表] 多層ニッケル電鋳による高強度金型の作製2007

    • 著者名/発表者名
      木村太郎,佐和吉敬,山下健治,北谷武,山下満,野田大二,服部正
    • 学会等名
      第15回機械材料・材料加工技術講演会
    • 発表場所
      長岡技術科学大学,117
    • 年月日
      20071100
  • [学会発表] 二層ニッケル電鋳法による高強度マイクロ金型の作製2007

    • 著者名/発表者名
      佐和吉敬,木村太郎,山下健治,北谷武,山下満,野田大二,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会平成19年度秋季研究発表大会
    • 発表場所
      神戸市産業振興センタ-,A3.2
    • 年月日
      20071100
  • [学会発表] LIGAプロセスによるマイクロコイルの作製と評価2007

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      タワーホール船掘,Po-04
    • 年月日
      20071000
  • [学会発表] 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ2007

    • 著者名/発表者名
      野田大二,山下修平,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学,2901
    • 年月日
      20070900
  • [学会発表] 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ2007

    • 著者名/発表者名
      松本吉史,瀬戸本勝,野田大二,山下修平,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学,2902
    • 年月日
      20070900
  • [学会発表] Fabri- cation of High Aspect Ratio Microcoil Using by Dipping Method2007

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, S. Yamashita, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
    • 学会等名
      2nd International Conference on Machine Design and Tribology
    • 発表場所
      Hokkaido University, Sapporo, Japan, B01
    • 年月日
      20070700
  • [学会発表] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Electromagnetic Actuators2007

    • 著者名/発表者名
      M. Setomoto, Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
    • 学会等名
      2nd International Conference on Machine Design and Tribology
    • 発表場所
      Hokkaido University, Sapporo, Japan, B02
    • 年月日
      20070700
  • [学会発表] 次世代アクチュエータ2007

    • 著者名/発表者名
      野田大二
    • 学会等名
      日本設備管理学会2007年度第1回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20070700
  • [学会発表] Cylindrical Coils Created with 3D X-ray Lithography and Metallization for Electromagnetic Actuators2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsumoto, M. Setomoto, D. Noda, and T. Hattori
    • 学会等名
      7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology
    • 発表場所
      CCI Doubs, Besancon, France
    • 年月日
      20070600
  • [学会発表] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2007

    • 著者名/発表者名
      野田大二,山下修平,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
    • 学会等名
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学,B324
    • 年月日
      20070500
  • [学会発表] 高アスペクト比マイクロコイルおよびアクチュエータの作製2007

    • 著者名/発表者名
      山下修平,野田大二,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2006年度第4回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20070300
  • [学会発表] 電磁型アクチュエータ用高アスペクト比コイルの作製2007

    • 著者名/発表者名
      松本吉史,瀬戸本勝,山下修平,野田大二,服部正
    • 学会等名
      先端技術セミナー2007
    • 発表場所
      イーグレ姫路
    • 年月日
      20070300
  • [学会発表] 電磁駆動アクチュエータ用立体コイルラインの形成2007

    • 著者名/発表者名
      瀬戸本勝,松本吉史,山下修平,野田大二,服部正
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大学,3-125
    • 年月日
      20070300
  • [学会発表] 円筒型マイクロコイルラインの高アスペクト比化とソレノイドアクチュエータへの応用2007

    • 著者名/発表者名
      山下修平,松本吉史,瀬戸本勝,奥田孝一,野田大二,服部正
    • 学会等名
      精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      芝浦工業大学,L76
    • 年月日
      20070300
  • [学会発表] Fabri- cation of High Aspect Ratio Coil for Microactuators Using LIGA Process2006

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, Y. Matsumoto, S. Yamashita, M. Setemoto, and T. Hattori
    • 学会等名
      SPIE International Symposium on Smart Materials, Nano- and Micro- Smart Systems
    • 発表場所
      University of Adelaide, Adelaide, Australia, 6414-63
    • 年月日
      20061200
  • [学会発表] An Electromagnetic Actuators Using a Cylindrical Coil Created with 3D X-ray Lithography and Metallization Techniques2006

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
    • 学会等名
      2006 Inter- national Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya, Japan, MP1-2-5
    • 年月日
      20061100
  • [学会発表] 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,山下修平,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      熊本大学,4101
    • 年月日
      20060900
  • [学会発表] 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイル作製2006

    • 著者名/発表者名
      松本吉史,野田大二,山下修平,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      熊本大学,4102
    • 年月日
      20060900
  • [学会発表] ACTUATOR2006動向調査報告2006

    • 著者名/発表者名
      野田大二
    • 学会等名
      日本設備管理学会2006年度第2回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      神戸市産業振興財団
    • 年月日
      20060900
  • [学会発表] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2006

    • 著者名/発表者名
      服部正,野田大二,嶋田修,佐藤憲昭,清水正己,山下満,銘苅春隆
    • 学会等名
      平成18年電気学会産業応用部門大会
    • 発表場所
      名古屋工業大学,3-03-3
    • 年月日
      20060800
  • [学会発表] Fabrication of High Aspect Ratio Micro Coil for Microactuators using Three- Dimensional X-Ray Lithography Tech- nique2006

    • 著者名/発表者名
      D. Noda, H. Mochizuki, Y. Matsumoto, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 学会等名
      10th International Conference on New Actuators and 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
    • 発表場所
      Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P061
    • 年月日
      20060600
  • [学会発表] Fabrication of Cylindrical Microcoil Line Through Surface Modification for Microactuators2006

    • 著者名/発表者名
      S. Yamashita, S. Kusumi, O. Shimada, K. Okuda, D. Noda, and T. Hattori
    • 学会等名
      10th International Conference on New Actuators and 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
    • 発表場所
      Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P065
    • 年月日
      20060600
  • [学会発表] Measurement of Friction Characteristics by an Inertia Drive System and Optimum Design of Piezoelectric Impact Drive Mechanism2006

    • 著者名/発表者名
      N. Shibano, Y. Konishi, H. Ishigaki, and T. Hattori
    • 学会等名
      10th International Conference on New Actuators and 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
    • 発表場所
      Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P072
    • 年月日
      20060600
  • [学会発表] 高アスペクト比を有する円筒型電磁アクチュエータの作製2006

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,服部正
    • 学会等名
      第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      神戸国際会館,B2A14
    • 年月日
      20060500
  • [学会発表] LIGAプロセスによる電磁アクチュエータの作製2006

    • 著者名/発表者名
      野田大二,松本吉史,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会第6回機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      ホテル松島大観荘,2305
    • 年月日
      20060500
  • [学会発表] Development of a New Nano-Micro Solid Processing Technology Based on a LIGA Process and a Next-Generatic Micro Actuator2006

    • 著者名/発表者名
      T. Hattori, D. Noda, and H. Ishigaki
    • 学会等名
      The 1st International Symposium on Next-Generation Actua- tors Leading Breakthroughs
    • 発表場所
      Makuhari Prince Hotel, Chiba, Japan, A02-1
    • 年月日
      20060400
  • [学会発表] 電鋳によるマイクロ金型作製2006

    • 著者名/発表者名
      山下健治,北谷武,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2005年度第3回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20060300
  • [学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,野田大二,服部正
    • 学会等名
      ニュースバルセミナー2006
    • 発表場所
      イーグレ姫路
    • 年月日
      20060300
  • [学会発表] イオン照射によるPTFEとCu薄膜の密着力向上2006

    • 著者名/発表者名
      山下修平,植田寛康,糸魚川貢一,野田大二,奥田孝一,服部正
    • 学会等名
      平成18年電気学会全国大会
    • 発表場所
      横浜国立大学,3-128
    • 年月日
      20060300
  • [学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,松本吉史,野田大二,服部正
    • 学会等名
      平成18年電気学会全国大会
    • 発表場所
      横浜国立大学,3-139
    • 年月日
      20060300
  • [学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,久住真治,佐藤憲昭,清水正己,山下満,嶋田修,野田大二,服部正
    • 学会等名
      第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学,8P127M
    • 年月日
      20060100
  • [学会発表] Ni電鋳によるマイクロ金型の作製2005

    • 著者名/発表者名
      木村太郎,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2005年度第2回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20051000
  • [学会発表] 円筒マイクロコイルのマイクロコイルライン作製2005

    • 著者名/発表者名
      山下修平,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2005年度第2回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20051000
  • [学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2005

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2005年度第2回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県先端科学技術支援センタ-
    • 年月日
      20051000
  • [学会発表] Design of Solenoidal Electromagnetic Microactuator utilizing 3D X-ray Lithography and Metal- lization, PD012005

    • 著者名/発表者名
      H. Mochizuki, H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 学会等名
      6th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology
    • 発表場所
      Hotel Hyundai, Gyeongju, Korea, PD03
    • 年月日
      20050600
  • [学会発表] Fabrication of Spiral Micro- Coil Utilizing LIGA Process2005

    • 著者名/発表者名
      O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, and T. Hattori
    • 学会等名
      The 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005
    • 発表場所
      Seattle, Washington, USA, NTM-03
    • 年月日
      20050600
  • [学会発表] 円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2005

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,銘苅春隆,服部正,久住真治,嶋田修,佐藤憲昭,山下満
    • 学会等名
      平成17年電気学会全国大会
    • 発表場所
      徳島大学,3-121
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] Ni電鋳法によるマイクロ金型の製作2005

    • 著者名/発表者名
      木村太郎,中郷直樹,竹田博昭,服部正
    • 学会等名
      平成17年電気学会全国大会
    • 発表場所
      徳島大学,3-135
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] LIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの試作2005

    • 著者名/発表者名
      銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
    • 学会等名
      精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学,A76
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] 円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2005

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,銘苅春隆,服部正,久住真治,嶋田修,佐藤憲昭,山下満
    • 学会等名
      日本設備管理学会2004年度第5回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県立先端科学技術支援センター
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] Ni電鋳法によるマイクロ金型の製作2005

    • 著者名/発表者名
      木村太郎,中郷直樹,竹田博昭,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2004年度第5回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県立先端科学技術支援センター
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] H2Oイオンによる照射によるフッ素樹脂の表面改質2005

    • 著者名/発表者名
      山下修平,瀬戸本豊,植田寛康,糸魚川貢一,奥田孝一,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2004年度第5回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      兵庫県立先端科学技術支援センター
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] Fabrication of Spiral Microcoil Utilizing 3D-LIGA Process2005

    • 著者名/発表者名
      H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 学会等名
      6th International Workshop on High- Aspect-Ratio Micro-Structure Technol- ogy
    • 発表場所
      Hotel Hyundai, Gyeongju, Korea
    • 年月日
      20050300
  • [学会発表] 3DLIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの作製2005

    • 著者名/発表者名
      銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
    • 学会等名
      第18回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      サンメッセ鳥栖,9C10
    • 年月日
      20050100
  • [学会発表] ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2004

    • 著者名/発表者名
      望月浩晃,服部正
    • 学会等名
      日本設備管理学会2004年度第2回ナノマイクロ加工研究会
    • 発表場所
      (独)産業技術総合研究所つくば東事業所
    • 年月日
      20041000
  • [学会発表] Development of 3D- LIGA Process to Fabricate Spiral Microcoil2004

    • 著者名/発表者名
      H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
    • 学会等名
      2004 International Micro processes and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Hotel Hankyu Expo Park, Osaka, Japan, 29A-11-3
    • 年月日
      20041000
  • [学会発表] Fabrication of Spiral Micro-Coil Utilizing LIGA Process2004

    • 著者名/発表者名
      O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Yamashita, and T. Hattori
    • 学会等名
      The International Conference on Electrical Engineering 2004
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, OH4-1
    • 年月日
      20040700
  • [学会発表] ウォーム成形技術のLIGAプロセスへの応用2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤憲昭,清水正巳,銘苅春隆,久住真治,山下満,嶋田修,服部正
    • 学会等名
      日本機械学会第4回機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      ホテル大観,201
    • 年月日
      20040400
  • [学会発表] シミュレーションによるマイクロ電磁弁の吸引力向上

    • 著者名/発表者名
      松本吉史,望月浩晃,野田大二,服部正
    • 学会等名
      平成18年電気学会全国大会
    • 発表場所
      横浜国立大学,3-138
  • [図書] "微細転写・加工技術全集",片岡大企画編集2008

    • 著者名/発表者名
      野田大二(分担執筆)
    • 総ページ数
      261-266
    • 出版者
      株式会社技術情報協会発行
  • [図書] "アクチュエータ工学",アクチュエータシステム技術企画委員会編集2004

    • 著者名/発表者名
      服部正(分担執筆)
    • 総ページ数
      171-180
    • 出版者
      株式会社養賢堂発行

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公開日: 2010-06-10   更新日: 2016-04-21  

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