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2018 年度 研究成果報告書

超高集積強誘電体メモリ実現へ向けたブレークスルー技術の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 16H04354
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

藤澤 浩訓  兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (30285340)

連携研究者 清水 勝  
中嶋 誠二  
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワード強誘電体 / ナノワイヤトランジスタ / ナノワイヤキャパシタ
研究成果の概要

各種電子機器では電源を切っても記憶が消えない不揮発性メモリとして,フラッシュメモリが用いられていますが,消費電力が大きく,読み書きが遅いという欠点があります.本研究では,低消費電力かつ高速動作が可能な不揮発性メモリの一つである強誘電体メモリを大容量化するために,情報を記憶する素子の形状を非常に細い(髪の毛の1/1,000)ナノワイヤとすることを提案し,実際にナノワイヤ素子の作製に成功しました.

自由記述の分野

電子材料・電子デバイス

研究成果の学術的意義や社会的意義

低消費電力かつ高速動作が可能な不揮発性メモリの一つである強誘電体メモリを大容量化するために,情報を記憶する素子の形状を非常に細い(髪の毛の1/1,000)ナノワイヤとすることを提案し,ナノワイヤ素子の作製に成功しました.本技術に基づき,素子の性能が向上し,超低消費電力かつ超高集積強誘電体メモリが実現すれば,IoTデバイスやクラウド社会を支えるデータセンター等の省電力化が実現できる可能性があります.

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公開日: 2020-03-30  

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