プラズマ誘起ミクロ液相反応の研究

2019 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 16H05988
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: プラズマエレクトロニクス
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 伊藤 剛仁 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授 (70452472)
• 研究期間 (年度): 2016-04-01 – 2020-03-31
• キーワード: プラズマ誘起ミクロ液相反応 / インクジェット / 大気圧非平衡プラズマ / プリンティング / プラズマ分光

研究成果の概要

本研究は、プラズマ応用における一つの潮流であるプラズマ誘起液相反応における新展開としてのプラズマ誘起ミクロ液相反応の研究である。分光学的手法を用いることでミクロ液相とプラズマとの相互作用によるプラズマ誘起ミクロ液相反応場の更なる理解をもたらすとともに、ミクロ液相生成手法により制御性の高いインクジェット法を用いることで、新規描画プロセスとしてのプラズマ援用インクジェットプリンティングを開発した。銀ナノ粒子分散インクを用いた銀配線の描画や、モノマーをインクとして用いたポリマー描画プロセス通じ、配線描画における高速化、低温化、簡略化、高付加価値化をもたらし得る新規描画プロセスであることを示した。

自由記述の分野

プラズマ材料科学

研究成果の学術的意義や社会的意義

優れた科学技術の進展には基礎研究と応用研究の両輪が必要であるとの考えのもと、プラズマーミクロ液相相互作用系において、基礎及び応用研究の両者に取り組んだ。基礎研究においては、分光計測とともにプラズマー液相相互作用全般に貢献し得る成果を挙げることができた。プラズマー液相相互作用系における再現性の良い観察対象としても、本研究で構築したシステムは貢献し得ると期待している。応用研究においては、新規プリンテッドエレクトロニクス描画法としてのプラズマ援用インクジェットプロセスの開発をもたらした。プロセスの最適化に向けて課題は残されているが、日本初の新規プロセスとして、波及効果が期待できる成果と考えている。