| 研究課題/領域番号 |
16K14123
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
機械材料・材料力学
|
|---|
| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
|---|
研究代表者 |
藤澤 悟 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 製造技術研究部門, 主任研究員 (20357908)
|
|---|
| 研究分担者 |
間野 大樹 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 製造技術研究部門, 主任研究員 (40344212)
三宅 晃司 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 製造技術研究部門, 研究グループ長 (30302392)
|
|---|
| 研究協力者 |
三宅 晃司
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
|
| キーワード | 走査型プローブ顕微鏡 (SPM) / スキャナ圧電体 / 重畳信号 / アコースティックエミッション (AE) / Cu (銅) 配線 / 電気的・機械的破壊 |
|---|
| 研究成果の概要 |
走査型プローブ顕微鏡（SPM）のスキャナ圧電体にアコースティック・エミッション（AE）が作用することにより、圧電効果でAE波に起因する信号すなわちＡＥ信号が発生して、走査信号に重畳されることを利用して、AE波を顕微的にSPM信号と同時にin-situで方法を確立することにより、AE信号とその発生原因を複合的に検出する手法を開発した。走査信号に重畳されるＡＥ信号を取り出すために電子フィルタ回路で走査信号をカットすれば、SPM信号とＡＥを同時に検出できる。難加工材料のAEを検出するためには高い感度が必要と予測されることから、感度評価とその向上、及び新手法の試行を行った。
|
| 自由記述の分野 |
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)
|
