微細テフロン導波管回路の開発に関する研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18760258
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 岡山県立大学
• 研究代表者: 岸原 充佳 岡山県立大学, 情報工学部, 准教授 (50336905)
• 連携研究者: 内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (80326298)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 情報通信工学 / 先端機能デバイス / デバイス設計・製造プロセス / 放射線、X線、粒子線 / マイクロ・ナノデバイス

研究概要

本研究では,放射光によるテフロンの微細加工と表面への金属の蒸着を通して,ミリ波・サブミリ波領域での応用が期待できる導波路および素子を構成する技術の開発を試みた.Q帯(33-50GHz)で動作する直線導波管,ベンド導波管の試作および測定を行い,製作プロセスの確立を行った.試作した導波管は,良好な導波特性が得られることを確認している.

研究成果

• [雑誌論文] 放射光直接エッチングによるテフロンの加工とミリ波テフロン導波管への応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 岸原充佳,浮田芳昭,山本成明,太田勲,内海裕一
  • 雑誌名: 電気学会論文誌Sec.C vol.129 ページ: 259-266
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of a PTFE-Filled Waveguide for Millimeter-Wave Components Using SR Direct Etching, Microsystem Technologies (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Kishihara, Y. Ukita, Y. Utsumi, I. Ohta
  • 雑誌名: Springer-Verlag vol.14 ページ: 1417-1422
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Poly (tetrafluoroethylene) Microparts by High-Energy X-ray- Induced Etching (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Ukita, K. Kabda, S. Matsui, M. Kishihara, and Y. Utsumi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics vol.47 ページ: 337-341
  • 査読あり
• [学会発表] Fabrication of Millimeter-Wave PTFE-Filled Waveguide Using SR Direct Etching (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Kishihara, Y. Ukita, S. Yamamoto, Y. Utsumi, and I. Ohta
  • 学会等名: 2007 Asia-Pacific Microwave Conference
  • 発表場所: Thailand
  • 年月日: 2007-11-20
• [学会発表] 放射光エッチングを利用したテフロン導波管の試作(79) (2007)
  • 著者名/発表者名: 岸原充佳,山根國義,浮田芳昭,内海裕一,太田勲
  • 学会等名: 2007年電子情報通信学会総合大会C-2-46
  • 発表場所: 名城大学
  • 年月日: 2007-03-20
• [産業財産権] PTFE材料のエッチング方法、及び、高周波導波管 (2007)
  • 発明者名: 内海裕一,太田勲,岸原充佳
  • 権利者名: 内海裕一,太田勲,岸原充佳
  • 産業財産権番号: 2007-218602
  • 出願年月日: 2007-08-24