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2019 年度 実績報告書

グラフェンのテーラーメイド合成とその展開

研究課題

研究課題/領域番号 18H03864
研究機関九州大学

研究代表者

吾郷 浩樹  九州大学, グローバルイノベーションセンター, 教授 (10356355)

研究分担者 長汐 晃輔  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (20373441)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2022-03-31
キーワード単層グラフェン / 二層グラフェン / CVD成長 / インターカレーション / 転写プロセス
研究実績の概要

グラフェンは炭素のみからなる原子厚みの二次元シートであり、優れた物性から、光・磁気・バイオセンサー、高周波トランジスタ、フレキシブル透明電極といった幅広い応用が期待されている。本研究では、代表者が開発した「エピタキシャルCVD法」を基にして、新たな学理の構築と応用のための基礎技術の確立を目的として研究を進めている。特に、グラフェン成長の理解と制御を推し進め、層数から積層様式まで制御したテーラーメイドな合成へと発展させ、転写プロセス開発も行うことで、他に追随できないレベルのグラフェン膜を実現することを目指している。
グラフェンの高品質化のため、Cu(111)薄膜に生ずる双晶欠陥の解決に取り組み、その解決策を見出しつつあるとともに、Cu(111)上に配向成長したグラフェンの粒界に関して研究を進めた。同時に、多くの共同研究者にグラフェンを提供し、国内外の研究に大きな貢献を行った。
半導体デバイスへの応用が期待される二層グラフェンについても研究を進め、バンドギャップを開くために必要とされるAB積層をほぼ100%の割合で実現することにも成功した。共同研究者である東京大学の長汐准教授とデバイスを作製し、バンドギャップの観測も実現した。
さらに、二層グラフェンの層間へのインターカレーションに関する研究も行い、シート抵抗の大幅な低減に加え、積層構造がインターカレーションに与える影響を見出すことができた。最近では二つの異なる分子のインターカレーションなど世界初の実験にも成功し、新たな興味深い結果が得られつつある。
グラフェンの転写に関しても、ドライ転写法という新しく有望な結果が得られつつある。以上のように、単層、二層グラフェンのCVD成長、転写技術の構築など、今後に向けて着実に成果が得られている。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

単層グラフェンに関しては、サファイア結晶上のCu(111)薄膜の双晶欠陥の低減に向けた方向性を見出すことに成功し、方位の揃った単層グラフェンのグレイン間の接合に関しても新しい知見を得つつある。また、複数の大学の研究室に単層グラフェンを提供し、活発な共同研究を推進することができた。
二層グラフェンでは、AB積層を99.4%という高い割合で実現できる、世界的にも報告のない、新規でユニークな方法を開発することに成功した。ラマン分光、走査型トンネル顕微鏡、低エネルギー電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡といった複数の測定法を駆使して、AB積層が制御できていることを示した。炭素同位体ラベリングを活用して、成長メカニズムを解明することもできた。high-k絶縁膜を用いたAB積層デバイスを作製し、半導体動作も確認できた。さらに、共同研究者である東京大学の長汐准教授の協力により、グラファイトとh-BNで挟んだ二層グラフェンの積層トランジスタの作製も実現し、高いon/off比の実現につながった。
二層グラフェンのもつユニークな二次元ナノ空間を利用し、金属塩化物のインターカレーションを行った。インターカレーションによって、大きなラマンシフトが観察され、グラフェンにホールドーピングが起こっていることを確認し、それによりシート抵抗を大きく低下できることが示せた。そして、スーパーフレキシブル透明電極なども得ることができている。さらには、二成分のインターカレーションにも世界に先駆けて成功し、従来の炭素科学に新たな視点と理解を与える研究成果も得られつつある。
また、ドライ転写についても、簡便で不純物の少ない転写法の開発を着実に進めることができた。
このようにグラフェンの合成、転写、応用、それぞれについて研究を行い、多数の先進的で優れた成果を得ることができた。

今後の研究の推進方策

今後は、超高品質の単層グラフェンの合成を実現するために、Cu(111)薄膜の結晶性の向上と大面積化、そしてグラフェンの粒界の電気的・化学的解析などの基盤的な研究を継続していく。応用のために不可欠とされる、グラフェンのもつ極めて高いキャリア移動度を実現するため、CVD合成したh-BNも組み合わせながら、世界トップレベルのグラフェン膜と積層ヘテロ構造の実現を目指して研究を展開していく。
二層グラフェンについても、AB積層に加え、ツイスト積層の制御など新しい研究を進める。さらに、三層以上の層数のグラフェンの検討など、グラフェンのテーラーメイド合成にふさわしい新たな研究課題にもチャンレンジする。
また、これまでに培った転写の技術を完成させ、グラフェンの実用化の可能性を広げていく。
上記に挙げたグラフェンの結晶成長の学理の研究に加え、太陽電池、トランジスタ、二次電池等への応用の可能性を、共同研究を含めて引き続き検討していくことで、テーラーメイド合成したグラフェンが将来の応用に極めて有効であることを実証していく。

備考

九州大学グローバルイノベーションセンター(吾郷研究室)
http://www.gic.kyushu-u.ac.jp/ago/

  • 研究成果

    (37件)

すべて 2020 2019 その他

すべて 国際共同研究 (4件) 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (24件) (うち国際学会 10件、 招待講演 9件) 図書 (4件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] University of Technology Sydney(オーストリア)

    • 国名
      オーストリア
    • 外国機関名
      University of Technology Sydney
  • [国際共同研究] UNIST(韓国)

    • 国名
      韓国
    • 外国機関名
      UNIST
  • [国際共同研究] National Physical Laboratry(英国)

    • 国名
      英国
    • 外国機関名
      National Physical Laboratry
  • [国際共同研究] Leibniz Institute of Surface Engineering(ドイツ)

    • 国名
      ドイツ
    • 外国機関名
      Leibniz Institute of Surface Engineering
  • [雑誌論文] High Output Voltage Generation of over 5 V from Liquid Motion on Single-Layer MoS22020

    • 著者名/発表者名
      Aji Adha Sukma、Nishi Ryohei、Ago Hiroki、Ohno Yutaka
    • 雑誌名

      Nano Energy

      巻: 68 ページ: 104370~104370

    • DOI

      10.1016/j.nanoen.2019.104370

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of Sub-Millimeter Single-Crystal Grains of Aligned Hexagonal Boron Nitride on an Epitaxial Ni Film2019

    • 著者名/発表者名
      Taslim Alexandre Budiman、Nakajima Hideaki、Lin Yung-Chang、Uchida Yuki、Kawahara Kenji、Okazaki Toshiya、Suenaga Kazu、Hibino Hiroki、Ago Hiroki
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: 11 ページ: 14668~14675

    • DOI

      10.1039/C9NR03525G

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Chemically Tuned p‐ and n‐Type WSe2 Monolayers with High Carrier Mobility for Advanced Electronics2019

    • 著者名/発表者名
      Ji Hyun Goo、Solis‐Fernandez Pablo、Yoshimura Daisuke、Maruyama Mina、Endo Takahiko、Miyata Yasumitsu、Okada Susumu、Ago Hiroki
    • 雑誌名

      Advanced Materials

      巻: 31 ページ: 1903613~1903613

    • DOI

      10.1002/adma.201903613

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vapor Phase Selective Growth of Two-Dimensional Perovskite/WS2 Heterostructures for Optoelectronic Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Erklic Ufuk、Solis-Fernandez Pablo、Ji Hyun Goo、Shinokita Keisuke、Lin Yung-Chang、Maruyama Mina、Suenaga Kazu、Okada Susumu、Matsuda Kazunari、Ago Hiroki
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 11 ページ: 40503~40511

    • DOI

      10.1021/acsami.9b13904

    • 査読あり
  • [学会発表] Controlled synthesis and processing of 2D materials for future applications2020

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      1 & 2DM Conference and Exhibition 2020
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 完全AB積層した二層グラフェンのCVD成長2020

    • 著者名/発表者名
      P. Solis-Fernandez, 寺尾友里, 河原憲治,長汐晃輔, Y.-C. Lin, 山本圭介, 中島寛, 日比野浩樹, 末永和知, 吾郷浩樹
    • 学会等名
      2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 大面積二層グラフェンへの二成分の金属塩化物のインターカレーション2020

    • 著者名/発表者名
      本山周, 河原憲治,松本里香, Y.-C. Lin, 末永和知, 吾郷浩樹
    • 学会等名
      2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] ロックイン赤外線発熱解析法による大面積グラフェンの構造イメージング2020

    • 著者名/発表者名
      中島秀朗, 森本崇宏, 生田美植, 沖川侑揮, 山田貴壽, 河原憲治, 吾郷浩樹, 岡崎俊也
    • 学会等名
      2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] イオン液体によりドーピングされた単層グラフェンの超高速時間分解発光測定2020

    • 著者名/発表者名
      犬飼大樹, 斉藤健輔, 小山剛史, 河原憲治, 吾郷浩樹, 岸田英夫
    • 学会等名
      2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 超薄膜グラフェンを用いた飛翔体搭載用軟X 線光学素子の開発(2)2020

    • 著者名/発表者名
      三石郁之, 中山恵理子, 田原譲, 堀田貴都, 北浦良, P. S. Fernandez, 河原憲治, 吾郷浩樹
    • 学会等名
      日本天文学会 2020 年春季年会
  • [学会発表] 単層グラフェンにおける第三高調波発生の共鳴過程2020

    • 著者名/発表者名
      犬飼大樹,小山剛史,河原憲治,吾郷浩樹,岸田英夫
    • 学会等名
      日本物理学会 第75回年次大会
  • [学会発表] Controlled synthesis of high-quality 2D materials for device applications2019

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      2019 Symposia on VLSI Technology and Circuits (Workshop on "2D Materials and Applications")
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] グラフェンをはじめとした二次元原子膜のCVD成長とその展開2019

    • 著者名/発表者名
      吾郷浩樹
    • 学会等名
      第12回 酸化グラフェン研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] 大面積二層グラフェンへの金属塩化物のコインターカレーション2019

    • 著者名/発表者名
      本山周, 河原憲治, 松本里香, 吾郷浩樹
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] メーカーフリンジ法を用いた単層グラフェンにおける第三高調波発生の観測2019

    • 著者名/発表者名
      犬飼大樹 , 小山剛史, 河原憲治, 吾郷浩樹, 岸田英夫
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] Controlled CVD Growth of High-Quality 2D Materials and Their Heterostructures for Device Applications2019

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      SSDM2019 (Solid State Devices and Materials 2019)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] イオン液体によりドーピングした単層グラフェンのラマン散乱分光III2019

    • 著者名/発表者名
      犬飼大樹, 小山剛史, 河原憲治, 吾郷浩樹, 岸田英夫
    • 学会等名
      日本物理学会 2019 年秋季大会
  • [学会発表] 超薄膜グラフェンを用いた飛翔体搭載用軟 X 線光学素子の開発2019

    • 著者名/発表者名
      中山恵理子, 竹原佑亮, 三石郁之, 田原譲, 堀田貴都, 北浦良, 吾郷浩樹, 河原憲治, Pablo Solis-Fernandez
    • 学会等名
      日本天文学会 2019 年秋季年会
  • [学会発表] Controlled CVD growth of high-quality 2D materials and their heterostructures for electronic applications2019

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      RPGR2019 (Recent Progress in Graphene and 2D Materials Research)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Growth of Bilayer Graphene with AB-Stacking Ratios Exceeding 99% by CVD on Cu-Ni Thin Films2019

    • 著者名/発表者名
      P. Solis-Fernandez, Y. Terao, K. Kawahara, L. Yung-Chang, K. Yamamoto, H. Nakashima, H. Hibino, K. Suenaga, H. Ago
    • 学会等名
      RPGR2019 (Recent Progress in Graphene and 2D Materials Research)
    • 国際学会
  • [学会発表] Developments of space electroformed-nickel optics and atomically-thin graphene films linking space and ground-based technologies2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Takehara, A. Takigawa, E. Nakayama, I. Mitsuishi, K. Tamura, Y. Tawara, T. Kanoh, K. Tachibana, H. Mimura, G. Yamaguchi, T. Kume, Y. Takeo, K. Hiraguri, H. Hashizume, T. Hotta, R. Kitaura, P. Solis-Fernandez, K. Kawahara, H. Ago
    • 学会等名
      15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics
    • 国際学会
  • [学会発表] Controlled CVD growth of high-quality 2D materials and their heterostructures for electronic applications2019

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      10th A3 Symposium on Emerging Materials: Nanomaterials for Electronics, Energy and Environment
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 二次元原子膜の結晶成長とその展開2019

    • 著者名/発表者名
      吾郷浩樹
    • 学会等名
      2019年日本表面真空学会学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノカーボン材料を用いたシリコンチップ上高 集積光源開発2019

    • 著者名/発表者名
      牧英之,高橋 英統,志村惟,深澤佑介,三好勇輔,河原憲治,吾郷浩樹,中川鉄馬
    • 学会等名
      第46回炭素材料学会年会
  • [学会発表] Controlled CVD hrowth of high-quality 2D layered materials for electronic and photonic applications2019

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Co-intercalation of metal chlorides in large-area bilayer graphene2019

    • 著者名/発表者名
      A. Motoyama, K. Kawahara, R. Matsumoto, H. Ago
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Controlled synthesis of 2D materials and their heterostructures for device applications2019

    • 著者名/発表者名
      H. Ago
    • 学会等名
      The 3rd Workshop on Functional Materials Science
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] エピタキシャルグラフェンの電子状態に与える界面の影響2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤京樹, 榊原涼太郎, 河原憲治, 吾郷浩樹, 林直輝, 伊藤孝寛, 乗松航
    • 学会等名
      第19回 日本表面真空学会中部支部学術講演会
  • [図書] 2020版 薄膜作製応用ハンドブック(グラフェンをはじめとする2次元材料の合成法)2020

    • 著者名/発表者名
      内田勇気, 吾郷浩樹
    • 総ページ数
      1570
    • 出版者
      NTS出版
    • ISBN
      978-4-86043-631-5 C3058
  • [図書] グラフェンから広がる二次元物質の新技術と応用(高品質グラフェンのCVD成長)2020

    • 著者名/発表者名
      吾郷浩樹
    • 総ページ数
      558
    • 出版者
      NTS出版
    • ISBN
      978-4-86043-663-6 C3042
  • [図書] グラフェンから広がる二次元物質の新技術と応用(大面積h-BNのCVD成長)2020

    • 著者名/発表者名
      吾郷浩樹, 河原憲治
    • 総ページ数
      558
    • 出版者
      NTS出版
    • ISBN
      978-4-86043-663-6 C3042
  • [図書] グラフェンから広がる二次元物質の新技術と応用(二次元ペロブスカイト)2020

    • 著者名/発表者名
      Ufuk Erkilic, 吾郷浩樹
    • 総ページ数
      558
    • 出版者
      NTS出版
    • ISBN
      978-4-86043-663-6 C3042
  • [備考]

    • URL

      http://www.gic.kyushu-u.ac.jp/ago/

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公開日: 2021-01-27  

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