全テラヘルツ領域(0.1~10 THz以上)にて動作可能な室温動作の連続発振(CW)テラヘルツ波発生デバイスの実現を目指し、高効率かつ超広帯域(20 THz以上)のテラヘルツ波発生を可能とする電気光学(EO)ポリマーを用いたデバイス開発を実施した。予めポーリングを行ったEOポリマー膜を転写するプロセス技術を用いることで、スラブ導波路型およびエアーギャップ構造を有する導波路型テラヘルツ波発生デバイス、アレイアンテナとグラウンド電極を有する導波路型テラヘルツ波受信デバイスを試作し、評価を行った。小型で低出力なフェムト秒ファイバーレーザーを用いた導波路型デバイスによるテラヘルツ波発生を実証した。
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