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ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、高硬度、高耐摩耗性、低摩擦係数などの特徴を有していることから、ハードコーティング材料などとして応用が進められている。また、DLCを用いた太陽電池など半導体材料としての応用が注目されている。本研究では、シリコン(Si)および窒素(N)を添加したDLCを作製し、諸特性と構造・化学結合状態との相関関係を調べた。その結果、SiおよびN添加は、DLCの機械的特性・トライボロジー特性を向上させること、ならびにDLCに新しい機能を発現させるのに有効であることがわかった。
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