研究課題
挑戦的研究(萌芽)
極薄の金属薄膜を大気開放下で表面活性化可能な手法を検討し、活性金属密着層を介した大気常温接合の可能性について検討した。大気開放・局所活性化雰囲気における接合機構を作製し、接合実験を行った。金属薄膜の表面活性化と接合メカニズム把握に向けて多くの知見の取得に成功するとともに、条件によっては光学応用で重要な酸化物材料の大気常温（ないし低温）接合が可能であることも分かった。本研究により、将来の簡便な大気中常温接合プロセスの実現に向けた基礎データ取得に繋がった。
実装・集積
本成果は、真空・大気下における金属薄膜の表面活性化状態と接合メカニズム把握に繋がり学術的な価値は高い。また、大規模な真空引き装置を必要としない将来の簡便な大気中プロセス実現に寄与する可能性があり産業的にも価値があると考えられる。
