| 研究分担者 |
吉村 信次 核融合科学研究所, 研究部, 准教授 (50311204)
寺坂 健一郎 九州大学, 総合理工学研究院, 助教 (50597127)
矢澤 翔大 日本大学, 生産工学部, 講師 (10737951)
小林 弘和 高知工科大学, システム工学群, 准教授 (60622446)
戸田 泰則 北海道大学, 工学研究院, 教授 (00313106)
鹿野 豊 群馬大学, 大学院理工学府, 准教授 (80634691)
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| 研究実績の概要 |
本研究の当初の目的は，光渦分光法をプロセスプラズマに適用することでプラズマの制御性を格段に向上させることとしていた．このため，日本側で開発した光渦分光システムをドイツ・ルール大学に移設し，容量結合プラズマ（CCP）と基板の境界であるシース内におけるイオン流速の測定を計画していた．しかし，本研究の2年目以降のコロナ禍によりドイツで実験を行える期間が十分に確保できないと判断し，光渦分光測定法の高度化，簡便化を中心に国内で研究を行い，ドイツの研究グループとは実験結果の評価に関して議論してきた．2023年度は主にこれまでの研究成果の取りまとめと，今後の共同研究の計画を行った．光渦吸収分光法によるビームを横切る流れ測定に関する原理実証実験について論文として発表した．（H. Minagawa, S. Yoshimura, K. Terasaka, M. Aramaki, Enhancement of Doppler spectroscopy to transverse direction by using optical vortex, Scientific Reports, 13, 15400 (2023).）一方，光渦LIF測定に関しては，光源を非対称光渦へと変更することで飛躍的な感度向上が見込まれることを理論的に示し論文として発表した．(K. Terasaka, S. Yoshimura, H. Minagawa, M. Aramaki, Three-dimensional flow velocity determination using laser-induced fluorescence method with asymmetric optical vortex beams, Scientific Reports,14,2005(2024).)
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