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2010 年度 研究成果報告書

高エネルギーイオンビームの直描式微細加工による3Dナノ構造の創製

研究課題

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研究課題/領域番号 19206105
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 原子力学
研究機関独立行政法人日本原子力研究開発機構

研究代表者

神谷 富裕  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 課長 (70370385)

研究分担者 西川 宏之  芝浦工業大学, 工学部, 教授 (40247226)
関 修平  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30273709)
杉本 雅樹  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (90354943)
石井 保行  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究副主幹 (00343905)
佐藤 隆博  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究副主幹 (10370404)
大久保 猛  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究職 (40446456)
芳賀 潤二  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 出向職員 (00414566)
研究期間 (年度) 2007 – 2010
キーワードナノデバイス / マイクロマシン / マイクロビーム / 3Dナノ構造創製 / マスクレ描画 / ナノ細線
研究概要

ナノデバイスあるいはマイクロマシン創製の基盤技術として、MeV以上の高エネルギーイオンマイクロビームの特長を活かした3Dナノ構造創製技術を開発した。研究では、研究代表者自らが開発した各種のマイクロビーム装置を駆使し、その多様性、高空間分解能、高密度エネルギー付与、および長飛程の特長を活かし、それらを組み合わせてマスクレス描画する技術を開発し、ナノ細線を含む3次元微細構造の創製に見通しを得た。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Fabrication of nanowires by varying energy microbeam lithography using heavy ions at the TIARA2009

    • 著者名/発表者名
      T.Kamiya, K.Takano, Y.Ishii, T.Satoh, M.Oikawa, T.Ohkubo, J.Haga, H.Nishikawa, Y.Furuta, N.Uchiya, S.Seki, M.Sugimoto
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms 267

      ページ: 2317-2320

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microbeam complex at TIARA : Technologies to meet a wide range of applications

    • 著者名/発表者名
      T.Kamiya, K.Takano, T.Satoh, Y.Ishii, H.Nishikawa, S.Seki, M.Sugimoto, S.Okumura, M.Fukuda
    • 雑誌名

      Nucl.Instr.Meth. B(in press)

    • 査読あり
  • [学会発表] Local nano-processing of epoxy resin systems by single ion hits with writing2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takano
    • 学会等名
      12th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications (ICNMTA2010)
    • 発表場所
      ドイツ、ライプチッヒ
    • 年月日
      2010-07-29
  • [学会発表] Curing Reaction of SU-8 Negative-type Photoresist by MeV Ion Beam Lithography2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takano
    • 学会等名
      27th International Conference of Photopolymer Science and Technology Conference (ICPST-27)
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2010-06-24
  • [備考] ホームページ等

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公開日: 2012-01-26   更新日: 2013-05-15  

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