計算機ホログラムを用いた原子リソグラフィーの描画自由度拡張に関する研究

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19540414
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 原子・分子・量子エレクトロニクス・プラズマ
• 研究機関: 埼玉大学
• 研究代表者: 大向 隆三 埼玉大学, 教育学部, 准教授 (40359089)
• 研究分担者: 近藤 一史 埼玉大学, 教育学部, 准教授 (40178421)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 原子リソグラフィー

研究概要

新たなナノ加工技術になると期待される原子リソグラフィー技術において、計算機ホログラムと近接場で発生させた光マスクで原子の微細構造物を作製する基盤技術を開発した。具体的には、原子源となる極低温原子の発生効率を100倍程度高める技術の開発に成功するとともに、光マスク生成用に紫色半導体レーザーをベースした光源を開発した。さらに原子描画性能に大きな影響を及ぼす光マスクの安定性について、2時間にわたり周波数にして0.4MHz以下の変動以内で高安定に発生する技術を開発した。

研究成果

• [雑誌論文] Efficient generation of cold atoms towards a source for atom lithography (2009)
  • 著者名/発表者名: R. Ohmukai, M. Hyodo, M. Watanabe, H. Kondo
  • 雑誌名: Opt.Rev. 16, No. 1 ページ: 11-14
  • 査読あり
• [雑誌論文] The negative lens (2008)
  • 著者名/発表者名: Hitoshi Kondo, Masataka Hayakawa, Kunio. Ichiji, Ryuzo Ohmukai, Takamitsu Masuda, Toshinobu Tsuda
  • 雑誌名: Proceedings of the International Conference on Physics Education 2006, Journal of the Physics Education Society of Japan Supplement ページ: 198-199
  • 査読あり
• [雑誌論文] The no darkroom development system for the pinhole camera (2008)
  • 著者名/発表者名: Takamitsu Masuda, Masahiro Tamaki, Hitoshi Kondo, Ryuzo Ohmukai, Kunio. Ichiji, Toshinobu Tsuda
  • 雑誌名: Proceedings of the International Conference on Physics Education 2006, Journal of the Physics Education Society of Japan Supplement ページ: 202-203
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mirror magneto-optical trap exploiting hexapole-compensated magnetic field (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Hyodo, K. Nakayama, M. Watanabe, R. Ohmukai
  • 雑誌名: Phys.Rev.A 76 ページ: 013419
  • 査読あり
• [学会発表] 半導体レーザーを用いた原子分光実験装置の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大向隆三, 上敷領静香, 兵頭政春, 近藤一史
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 2010-03-31
• [学会発表] 冷却原子のスピン偏極の計測と磁気トラップへの捕獲効率の最適化 (Measurement of spin polarization and optimization of capturing efficiency for laser-cooled atoms) (2008)
  • 著者名/発表者名: 兵頭政春, 中山和之, 渡辺昌良, 大向隆三
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2008
  • 発表場所: つくば国際会議場
  • 年月日: 2008-11-04
• [学会発表] Experiment on Mirror Magneto-Optical Trap Using Hexapole-Compensated Magnetic Field (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Hyodo, K. Nakayama, M. Watanabe, R. Ohmukai
  • 学会等名: International Symposium on Coherent Optical Science
  • 発表場所: Univ. of Electro-Communications, Tokyo
  • 年月日: 2007-12-15
• [学会発表] Characterization of Magnetic-Hexapole-Compensated Mirror Magneto-optical Trap (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Hyodo, K. Nakayama, M. Watanabe, R. Ohmukai
  • 学会等名: CLEO/Pacific Rim'07
  • 発表場所: Convention & Exhibition Center (COEX), Seoul, Korea
  • 年月日: 2007-08-29