マイクロ金型・小型高度機械部品のための細穴内面プラズマコーティング法の開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19740343
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 上坂 裕之 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90362318)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: DLC / マイクロ波 / 内面 / 細穴 / 高アスペクト比

研究概要

本研究により, 従来法では困難であった内径がミリメートルサイズの細穴内面へのDLC(Diamond-Like Carbon)成膜が可能となった.また, 細穴内を伝搬する電磁波の電磁界分布と電磁波からパワーを吸収することによって生成維持されるプラズマの分布とをSelf-consistentに解析できるシミュレーションコードを開発・運用し, 細穴内面の電磁界構造を明らかにするとともに, より長尺の細穴内面で均一にプラズマを生成するための指針を得た.

研究成果

• [雑誌論文] Relationship between Real Contact Area and Adhesion Force of Plasma-treated Rubber Sheets Against Stainless-steel Ball (2008)
  • 著者名/発表者名: Jong-Hyoung Kim, Isami Nitta, Hiroyuki Kousaka, etc.
  • 雑誌名: Tribology Online Vol.3 ページ: 361-365
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-speed and uniform deposition of amorphous carbon on inner surface of metal tube with microwave-excited high-density plasma column (2007)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Kousaka, Sho Kishine, and Noritsugu Umehara
  • 雑誌名: IEEE Conf. Proc. Int. Symp. Micro-NanoMechatronics and Human Science ページ: 490-493
  • 査読あり
• [雑誌論文] Reduction of adhesion force between chloride-isobutene rubber and stainless-steel ball after oxygen plasma treatment
  • 著者名/発表者名: Jong-Hyoung Kim, Hiroyuki Kousaka, etc.
  • 雑誌名: Journal of Materials and Manufacturing Processes accepted
  • 査読あり
• [学会発表] MVP法による細管内面プラズマ生成への電磁波周波数の影響 (2009)
  • 著者名/発表者名: 門脇慎之介, 上坂裕之, 梅原徳次, 他
  • 学会等名: 機械学会東海支部第58期支部総会講演会
  • 発表場所: 岐阜大学
  • 年月日: 2009-03-17
• [学会発表] Novel DLC synthesis method employing high-density plasma sustained by micro-wave propagation along plasma-sheath in-terface (Invited) (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Kousaka and Noritsugu Umehara
  • 学会等名: First International sympo-sium on advanced Plasma Science and its Applications (ISPLASMA)
  • 発表場所: Nagoya University
  • 年月日: 2009-03-11
• [学会発表] MVP 法による細穴内面プラズマ処理・DLC コーティング法の開発(招待) (2009)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之
  • 学会等名: 理研シンポジウム第11回「トライボコーテイングの現状と将来」
  • 発表場所: 理化学研究所
  • 年月日: 2009-02-27
• [学会発表] Tribological properties of di-amond-like carbon film deposited on the inner surface of metal tube by using micro-wave-excited high-density plasma (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Kousaka, Mori Kazunori, Tamura Noboru, etc.
  • 学会等名: プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2009-02-04
• [学会発表] マイクロ波励起高密度プラズマCVDによって細穴内面に成膜されたDLC膜の摩擦摩耗特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之, 森一憲, 梅原徳次, 他
  • 学会等名: 電気学会プラズマ研究会
  • 発表場所: 同志社大学
  • 年月日: 2008-12-19
• [学会発表] Tribological propeties of DLC film deposited on inner surface of narrow metal tube by using a new-type plasma CVD apparatus employing microwave propagation along plas-ma-sheath interface (Invited) (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kousaka, N. Tamura, etc.
  • 学会等名: The IUMRS International Conference in Asia 2008
  • 発表場所: Nagoya
  • 年月日: 2008-12-10
• [学会発表] マイクロ波励起高密度プラズマCVDによって細穴内面に成膜されたDLC膜の摩擦摩耗特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之, 田村登, 他
  • 学会等名: トライボロジー会議2008秋
  • 発表場所: 名城大学
  • 年月日: 2008-09-16
• [学会発表] Axial dis-tribution of electron density in micro-wave-excited high-density plasma column sustained in narrow metal tube (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kousaka, S. Kadowaki, etc.
  • 学会等名: The 26th Int. Symposium on Rarefied Gas Dynamics
  • 発表場所: Kyoto University
  • 年月日: 2008-07-25
• [学会発表] 表面波励起プラズマを用いた円筒内面DLC成膜の高速化に関する研究 (2008)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之, 岸根翔, 梅原徳次
  • 学会等名: 電気学会プラズマ研究会
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2008-05-23
• [学会発表] 金属部品の細穴内面処理のためのマイクロ波励起高密度プラズマ生成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之, 門脇慎之介, 梅原徳次
  • 学会等名: 電気学会プラズマ研究会
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2008-05-23
• [学会発表] 微小口径金属管内に生成されるマイクロ波励起高密度プラズマの電子密度分布 (2008)
  • 著者名/発表者名: 門脇慎之介, 上坂裕之, 他
  • 学会等名: 平成20年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 日本大学(船橋)
  • 年月日: 2008-03-28
• [学会発表] 表面波励起プラズマCVDによるDLC成膜速度に及ぼす印加バイアスの影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 上坂裕之, 岸根翔, 他
  • 学会等名: 平成20年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 日本大学(船橋)
  • 年月日: 2008-03-27
• [学会発表] 表面波励起高密度プラズマ柱による円筒内面高速DLCコーティング法の開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 岸根 翔, 上坂 裕之, 他
  • 学会等名: 日本機会学会東海支部第57期総会講演会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2008-03-10
• [学会発表] New DLC Coating Technology (Invited) (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kousaka
  • 学会等名: The 6th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & The 3rd Plasma Application Monodzukuri (PLAM)
  • 発表場所: Nagoya University
  • 年月日: 2008-01-06
• [産業財産権] 配管内外気圧差を利用して配管内のみにマイクロ波励起高密度プラズマを生成する方法及び装置 (2008)
  • 発明者名: 上坂裕之, 守谷修二, 中尾 賢
  • 権利者名: 名古屋大学, 東京エレクトロン(株)
  • 産業財産権番号: 出願, 特願2008-081840
  • 出願年月日: 2008-03-26
• [産業財産権] 配管内外気圧差を利用して配管内のみにマイクロ波励起高密度プラズマを生成する方法及び装置 (2007)
  • 発明者名: 上坂裕之, 近藤明弘, 進藤豊彦
  • 権利者名: 名古屋大学, (有)CCS
  • 産業財産権番号: 出願, 特願2007-239533
  • 出願年月日: 2007-09-14