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本研究課題では，超音波振動を併用して，電解酸化水による精密デバイス用の無酸素銅材および銅合金，ニッケル合金の表面粗化処理について実験研究を行ってきた．
その結果，まず，超音波を照射すると，電解酸化水中の溶存酸素濃度が高くなり，銅材およびニッケル材の表面に対するエッチング作用が強くなる．つぎに，無酸素銅材研磨面について，薬液と比べ，Na2SO4電解酸化水を用いると，平坦度が高くなり，NaCl電解酸化水を用いると，均一に粗化できる．45パーマロイ合金に対して，Na2SO4電解酸化水およびNaCl電解酸化水のどちらを用いても，均一に粗化できる．
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