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0.1気圧～0.9気圧の中気圧プラズマを用いて、大気圧プラズマの利点である処理対象の多様性を確保したまま、ラジカルフラックスの向上と均一処理の実現を図る。中気圧プラズマの形状をICCDカメラで観測するとともに、還元系ラジカルであるN原子と酸化系ラジカルであるO原子について、中気圧プラズマにおける挙動をレーザー分光法で測定した。
測定の結果、0.5気圧以下への減圧で比較的均一なプラズマが形成された。またN原子、O原子のいずれも、大気圧から中気圧への減圧でラジカル生成量を維持したまま、寿命が延長することが分かった。N原子およびO原子のフラックスは、0.3気圧で大気圧の1.6倍および3.5倍になった。
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