研究課題/領域番号 |
20360067
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研究機関 | 富山大学 |
研究代表者 |
森田 昇 富山大学, 理工学研究部, 教授 (30239660)
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研究分担者 |
山田 茂 富山大学, 理工学研究部, 准教授 (00174714)
高野 登 富山大学, 理工学研究部, 助手 (60251881)
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キーワード | 多機能型ダイヤモンド工具 / 極微細加工 / 集束イオンビーム / 選択成長 |
研究概要 |
本研究は、各種の極微細加工用の高精度多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用化を目的としている。 まず、現状のダイヤモンド合成に比べ、シリコンモールドへの転写性が高く、高速にダイヤモンドを合成できる装置を設計・試作した。その結果、現状程度の成膜速度であったが、良好なダイヤモンド合成が可能であった。次年度は成膜速度の向上を図る。 ダイヤモンドツールの切れ刃は現状ではシリコンの異方性エッチングを利用したピラミッド形状のみをチップとして作製しているが、今年度は集束イオンビーム技術を組み合わせて、各種形状のCVDダイヤモンド切れ刃を開発した。作製した切れ刃を有するダイヤモンドツールは、従来のものと比較して、加工面性状の向上が見られ、また切削抵抗も大幅に減少した。 また、超硬丸棒にダイヤモンドを成膜し、その部分に対してレーザにより溝加工を行うことで微細研削加工のダイヤモンドツールも開発した。成膜の前処理として超硬丸棒にショットブラストを施すことにより、ダイヤモンド膜の密着性の向上が図れたが、加工実験後に一部はく離が見られた。今後、さらなる密着性の向上を図る必要がある。
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