| 研究概要 |
リングビーム素子とCCDカメラを組み込んだ三次元内視鏡を開発した。リングビーム素子に利用される超精密加工した円錐ミラーの先端形状を評価することによって,高品位な光セクショニング面を生成した。また,光セクショニング面の解析手法もサブピクセル処理を取り込むことで,画素間に埋もれた情報を取り出すことに成功した。この結果,10μmの分解能をもつ測定法を達成した。また,リングビームの幾何学的変化に注目し,三次元内視鏡の軸調整法を明らかにした。ソフトウエアに関しては,三次元表示のみならず,展開図表示や光強度分布表示を取り入れることで,キズ検査や欠陥検査をも達成した。半導体レーザから出力光が楕円形状になる問題点を解決するために,リングビーム素子に回転部を導入することで高精度計測を達成することもできた。
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