2010 年度研究成果報告書

Φ型構造電極を用いる非接触型表面抵抗測定法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	20560257
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	電力工学・電力変換･電気機器
研究機関	山形大学
研究代表者	杉本俊之山形大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (10282237)
研究期間 (年度)	2008 – 2010
キーワード	表面抵抗率 / 静電気拡散性 / 静電気対策
研究概要	静電気拡散領域における表面抵抗率を非接触で測定する装置を開発した。測定原理は、Φ型構造電極と呼ばれる特殊なコロナ帯電電極を用い、試料の一部をコロナ帯電させつつ、その外側の領域に拡散する表面電荷の動きを検知するものである。この測定原理を説明するため、試料と測定器を包含する等価回路を構築した。電極構造を工夫することにより、表面電荷の移動速度が表面抵抗率に依存することを理論と実験から確認した。また、表面電荷の移動速度を検知する方法として10^6～10^9Ωの低抵抗領域では誘導電流測定、10^9～10^<12>Ωの高抵抗領域では表面電位測定を行うことが有効であることを示した。いずれの領域においても、理論値と実測値とがほぼ一致し、この測定法の有効性が実証された。