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2010 年度 研究成果報告書

極限環境に適用可能な音響プローブの開拓

研究課題

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研究課題/領域番号 20560402
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 計測工学
研究機関芝浦工業大学

研究代表者

小池 義和  芝浦工業大学, 工学部, 教授 (30251672)

研究期間 (年度) 2008 – 2010
キーワード超音波 / 洗浄機 / 超純水 / 音響出力
研究概要

本研究では,「数百℃の高温下」,「超純水中のキャビテーション環境」の2つの極限環境で使用可能な音響プローブの開拓を目的とした。プローブの構成として,「石英管の振動をレーザ・ドップラ振動速度計(LDV)による検出」,「LDVプローブ光を測定範囲に透過させ光路差を検出」,「光ファイバハイドロホンの反射光強度の検出」の3つの方法を試みている。導波路管型超音波洗浄機の音圧出力を3つの方法で測定を試みた。全ての方法でキャビテーションが発生伴う環境で,第3高調波まで検出可能なことを確認できている。しかし,絶対音圧への変換は,十分な精度が得られていない。また,高温環境での適用はまだであるが,材質が石英より適用可能と考えている。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2010 2009 2008

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] 導波路モードを用いた超音波用振動子による次世代半導体ウェーハ洗浄2010

    • 著者名/発表者名
      鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
    • 雑誌名

      日本音響学会誌 Vol.66, No.9

      ページ: 440-448

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Novel Ultrasonic Cleaning Equipment Using Waveguide Mode2009

    • 著者名/発表者名
      K.Suzuki, K.Han, S.Okano, J.Soejima, Y.Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.48, No.7

      ページ: 07GM05-1-5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Application of Novel Ultrasonic Cleaning Equipment Using Waveguide mode for Post-Chemical-Mechanical-Planarization Cleaning2009

    • 著者名/発表者名
      K.Suzuki, K.Han, S.Okano, J.Soejima, Y.Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.48, No.7

      ページ: 07GM04-1-4

    • 査読あり
  • [学会発表] Application of Novel Ultrasonic Cleaning Equipment Using Waveguide Mode for Single-Wafer Cleaning Process2010

    • 著者名/発表者名
      K.Suzuki, Y.Imazeki, K.Han, S.Okano, J.Soejima, Y.Koike
    • 学会等名
      Proc.of Admeta 2010
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20101000
  • [学会発表] LDVを用いた導波路管型高周波超音波洗浄機の音圧測定2010

    • 著者名/発表者名
      巽敏之,小池義和,鈴木一成
    • 学会等名
      日本音響学会2010年秋季研究発表講演論文集(1247-1248)
    • 年月日
      20100900
  • [学会発表] 導波路管型超音波洗浄機を用いたキャビテーション制御2010

    • 著者名/発表者名
      鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
    • 学会等名
      応用物理学会講演論文集(20p-C-4)
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      20100300
  • [学会発表] 次世代半導体洗浄用超音波洗浄機2009

    • 著者名/発表者名
      小池義和,鈴木一成
    • 学会等名
      日本機械学会流体工学部門講演会講演論文集(1806)
    • 発表場所
      名古屋(招待講演)
    • 年月日
      20091100
  • [学会発表] 任意位置に照射可能なチューブタイプ高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
    • 学会等名
      応用物理学会講演論文集(1p-S-11)
    • 発表場所
      筑波
    • 年月日
      20090300
  • [学会発表] 導波路管型超音波洗浄機用振動子の開発2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
    • 学会等名
      平成21年 日本音響学会春季研究発表会講演論文集(1207-1208)
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20090300
  • [学会発表] A novel cleaning equipment using ultrasonic waveguide mode2008

    • 著者名/発表者名
      K.Suzuki, K.Han, S.Okano, J.Soejima, Y.Koike
    • 学会等名
      Proc.of The 29th Ultrasonic Electronics Symp.(303-304)
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      20081100
  • [学会発表] 導波路管型超音波洗浄機用振動子のCMP後洗浄への適用-スポット型振動子の評価-2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
    • 学会等名
      第29回超音波エレクトロニクスシンポジウム講演論文集(361-362)
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      20081100

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公開日: 2012-01-26   更新日: 2016-04-21  

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