研究課題
若手研究(B)
半導体エレクトロニクスにおけるSiに対応する、酸化物エレクトロニクスのキー材料:SrTiO_3に対し、透明でかつ電気を通し、発光するデバイスを作製することを目的として研究を行った。SrTiO_3単結晶上にAlO_x薄膜を形成して各種測定を行った結果、透明で電気を通すSrTiO_3、電気を通し発光するSrTiO_3、透明で発光するSrTiO_3のそれぞれの作製に成功し、透明で電気を通し発光するSrTiO_3を作製するための設計指針を得た。
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Proc. Mater. Sci. Tech. Conf. Exhibition 1
ページ: 280-285
J. Appl. Phys. 103
ページ: 103703-1-103703-3