研究課題
若手研究(スタートアップ)
省エネルギ省資源な手法であるミスト化学気相成長(CVD)法を、低温領域でも高効率に高品質な薄膜を作製する技術とする為に、本法に対して大気圧プラズマを適用した装置を考案し、試作した。また本技術開発に伴い、反応場におけるミスト液滴の挙動に注目し、反応が非常に高効率に進行していることを明らかとした。さらに関連技術としてミストを利用した新たなエッチング技術を開発した。
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http://repository.kulib.kyoto-u.ac.jp/dspace/handle/2433/57270
http://www.kochi-tech.ac.jp/kut_J/university/pdf/prof/kawaharamure-toshiyuki.pdf