| 研究課題/領域番号 |
20K04219
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 新居浜工業高等専門学校 (2021-2023)
富山高等専門学校 (2020) |
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研究代表者 |
浅地 豊久 新居浜工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (70574565)
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| 研究分担者 |
中村 翼 大島商船高等専門学校, 電子機械工学科, 准教授 (10390501)
太田 孝雄 奈良工業高等専門学校, 電子制御工学科, 准教授 (80353267)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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| キーワード | ECRイオン源 / イオンビーム / ウィーンフィルタ / マイクロビーム |
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| 研究成果の概要 |
イオン源は、マイクロ波を2.45GHzに高周波化することによって、総ビーム電流を3.5倍に増やすことができた。ウィーンフィルタについては、2次元シミュレーションにより電場の均一化を図った。新たな蒸発源を製作し、蒸発温度の低いマグネシウムでイオンビームを生成することができた。アルミニウムの蒸発も確認した。最後に、アルミナ管を用いて直径100μm以下のビーム生成ができた。
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| 自由記述の分野 |
イオンビーム工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
半導体イオン注入分野などへの応用を考え、デスクトップサイズのイオンマイクロビーム装置の開発を行った。イオンビームから必要なイオン種のみを取り出すために大幅な小型化が可能なウィーンフィルタを採用した。また、内壁の帯電によってビーム収束効果が期待できるアルミナなどの絶縁管に、ウィーンフィルタを通過したビームを通すことによって直径100μm以下のイオンマイクロビームを生成することができた。
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