本研究は、市販セリア系砥粒を模擬した球状砥粒を合成し、砥粒スラリー劣化挙動に影響を与える因子を抽出することを目的に行われた。本研究では、セリア系砥粒スラリーを用いた研磨では、劣化挙動はセリアに添加した3価のカチオン種や、研磨圧力などの研磨条件にはほとんど依存せず、砥粒スラリーの溶媒の体積とスラリー中に混入したガラス量に依存すること、劣化原因がスラリー中の砥粒の凝集であることが明らかとなった。スラリー循環式研磨における砥粒スラリーの寿命は、ガラス精密研磨の現場ではコストに直結する重要な因子でもあることから、本研究で得られた結果は、砥粒スラリーの寿命延長や再生の分野に対して指針を示すものである。
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