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X線は高透過力・短波長であるため，これを用いて顕微鏡を構築できれば，物質科学・生物学などの分野でブレイクスルーが期待される．しかし，その性能を決定づけるX線レンズはまだまだ開発の余地が多く，世界各国で研究開発が行われている．本研究では，反射型のX線レンズに注目し，その高性能化のために，専用の高精度形状可変ミラーを設計・シミュレーション・試作・性能評価を実施した．試作した形状可変ミラーは，1nm以下という高い精度で形状を変形することができた（可視光干渉計に計測）．実際にX線集光光学系に組み込んで，その性能を評価したところ，λ/4程度まで波面収差を修正することに成功した．
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