研究課題
基盤研究(B)
外部から加えられた微細振動の振幅分布を時間平均干渉縞として得ることによって,内部欠陥の有無の判別が可能であることを確認した.マイクロ構造物の変位分布・ひずみ分布を計測する小型計測手法として,複数の撮像素子によるひずみ分布計測システムにおけるキャリブレーション方法を提案して,その実験と評価を行った.複数の撮像素子による変位分布・ひずみ分布計測システムの構造設計を行い,小型撮像素子4個が配置された撮像ヘッド部の試作を行った.
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