• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2010 年度 実績報告書

表面分解法によるカーボンナノチューブ/SiCヘテロ接合の作製と物性評価

研究課題

研究課題/領域番号 21510119
研究機関名城大学

研究代表者

丸山 隆浩  名城大学, 理工学部, 教授 (30282338)

研究分担者 成塚 重弥  名城大学, 理工学部, 教授 (80282680)
キーワードカーボンナノチューブ / SiC / ヘテロ接合 / 電気的特性 / 光電子分光 / X線吸収分光
研究概要

SiC表面分解法によるカーボンナノチューブ(CNT)/SiCヘテロ接合界面の物性解明に向けて、放射光を用いた高分解能光電子分光測定による界面電子構造の評価を行った。光電子分光測定の結果、本手法で作製したCNTの光電子スペクトルはフェルミ端を示し、金属的であることがわかった。これは、生成するCNTが比較的直径の太い多層CNTであるためと考えられる。また、SiC表面にカーボンナノキャップ層を形成した試料を作製し、価電子帯上端と内殻準位の結合エネルギー測定を行い、CNT/SiCの界面バンドアライメントの決定を行った。この結果、本界面が界面に障壁をもつショットキー型の接合を形成している可能性があることがわかった。電気的特性評価による接合界面の電子構造決定に関しても研究を進め、CNT、SiCそれぞれの表面に対して、低抵抗の電極作製技術の確立を行った。
一方、CNTの生成メカニズムの解明に向けて、放射光を用いたX線吸収スペクトルのその場測定を行った。CNT生成中のCK吸収端近傍の微細構造の、入射光の偏極依存性を測定することで、CNT生成初期段階である、カーボンナノキャップが形成される過程における、カーボン間の結合方向の変化を直接測定することに成功した。本実験結果は、以前申請者らが提案したナノキャップ生成モデルに矛盾しない。
さらに、CNT構造制御に向け、生成条件をより精密に制御するため、新たにCNT生成用の超高真空加熱炉の設計と製作を行った。昨年度内に装置の立ち上げが終了し、現在、新装置を用いたCNT生成を開始している。

  • 研究成果

    (20件)

すべて 2011 2010

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (15件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] SWNT growth on Al_2O_x/Co/Al_2O_x multilayer catalyst using alcohol gas source method in high vacuum2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Mizutani, 他
    • 雑誌名

      J.Cryst.Growth

      巻: 318 ページ: 1101-1104

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Annealing in a Hydrogen Atmosphere on Carbon Nanocap Formation in Surface Decomposition of 6H-SiC(000-1)2010

    • 著者名/発表者名
      K.Ueda, 他
    • 雑誌名

      J.Nanotechnol.Nanosci.

      巻: 10 ページ: 4054-4059

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Buffer Thickness on Single-Walled Carbon Nanotube Growth using Aluminum Oxide Buffer Layer with Alcohol Gas Source Method2010

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, 他
    • 雑誌名

      J.Nanotechnol.Nanosci.

      巻: 10 ページ: 3929-3933

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature Synthesis of Single-Walled Carbon Nanotubes by Alcohol Gas Source Growth in High Vacuum2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, 他
    • 雑誌名

      J.Nanotechnol.Nanosci.

      巻: 10 ページ: 4095-4101

    • 査読あり
  • [学会発表] 表面分解法で4H-SiCと6H-SiCから成長したカーボンナノチューブのラマン分光法での比較2011

    • 著者名/発表者名
      石黒祐樹, 他
    • 学会等名
      第40回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
    • 発表場所
      名城大学(名古屋)
    • 年月日
      2011-03-08
  • [学会発表] 高真空アルコールガスソース法によるPt触媒を用いたSWNTの低圧力成長2011

    • 著者名/発表者名
      水谷芳裕, 他
    • 学会等名
      第40回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
    • 発表場所
      名城大学(名古屋)
    • 年月日
      2011-03-08
  • [学会発表] アルコールガスソース法によるZnO(000-1)基板上カーボンナノチューブ成長2011

    • 著者名/発表者名
      筒井智之, 他
    • 学会等名
      第40回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
    • 発表場所
      名城大学(名古屋)
    • 年月日
      2011-03-08
  • [学会発表] Carbon Nanotube Growth on ZnO Substrate Surfaces using Alcohol Gas Source Method in High Vacuum2011

    • 著者名/発表者名
      T.Iokawa, 他
    • 学会等名
      ISPlasma 2011
    • 発表場所
      名古屋工業大学(名古屋)
    • 年月日
      2011-03-07
  • [学会発表] Electrical Property of CNT/SiC Interface formed by Surface Decomposition of SiC2011

    • 著者名/発表者名
      S.Sakakibara, 他
    • 学会等名
      ISPlasma 2011
    • 発表場所
      名古屋工業大学(名古屋)
    • 年月日
      2011-03-07
  • [学会発表] Formation Mechanism and Property of Carbon Nanotubes Grown by Decomposition of SiC Surface2010

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Maruyama
    • 学会等名
      International Conference on Carbon Nanotechnology : Potential and Challenge
    • 発表場所
      カンプール(インド)
    • 年月日
      2010-12-16
  • [学会発表] カーボンナノチューブ成長技術の紹介2010

    • 著者名/発表者名
      丸山隆浩, 他
    • 学会等名
      NEC×名城大学大学院理工学研究科技術交流会
    • 発表場所
      名城大学(名古屋)
    • 年月日
      2010-11-18
  • [学会発表] アルコールガスソース法によるZnO単結晶表面上カーボンナノチューブ成長2010

    • 著者名/発表者名
      五百川隆康, 他
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎)
    • 年月日
      2010-09-17
  • [学会発表] 高真空アルコールガスソース法によるSWNT成長におけるAl_2O_x/Co/Al_2O_x多層触媒の効果2010

    • 著者名/発表者名
      水谷芳裕, 他
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎)
    • 年月日
      2010-09-17
  • [学会発表] Sic表面分解法により形成したCNT/SiC接合界面の電気的特性2010

    • 著者名/発表者名
      榊原悟史, 他
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎)
    • 年月日
      2010-09-16
  • [学会発表] 6H-SiC(000-1)の高真空下での表面分解によるカーボンナノチューブ成長2010

    • 著者名/発表者名
      伊藤宏晃, 他
    • 学会等名
      第39回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
    • 発表場所
      京都大学(京都)
    • 年月日
      2010-09-06
  • [学会発表] 高真空アルコールガスソース法によるSWNT成長におけるAl_2O_x/Co/Al_2O_x多層触媒の役割2010

    • 著者名/発表者名
      水谷芳裕, 他
    • 学会等名
      第39回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
    • 発表場所
      京都大学(京都)
    • 年月日
      2010-09-06
  • [学会発表] SWNT Growth on Al_2O_x/Co/Al_2O_x Multilayer Catalyst using Alcohol Gas Source Method in High Vacuum2010

    • 著者名/発表者名
      Yoshihiro Mizutani, 他
    • 学会等名
      ICCG-16
    • 発表場所
      北京(中国)
    • 年月日
      2010-08-09
  • [学会発表] Effects of Water Addition on Single-Walled Carbon Nanotube Growth by Alcohol Gas Source Method in High Vacuum2010

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Maruyama, 他
    • 学会等名
      NT10
    • 発表場所
      モントリオール(カナダ)
    • 年月日
      2010-06-30
  • [学会発表] アルコールガスソース法によるGaN基板上カーボンナノチューブ成長2010

    • 著者名/発表者名
      五百川隆康, 他
    • 学会等名
      平成21年度中部地区ナノテク総合支援成果報告会
    • 発表場所
      名古屋工業大学(名古屋)
    • 年月日
      2010-05-11
  • [産業財産権] グラフェン素材の製造方法及びグラフェン素材2010

    • 発明者名
      成塚重弥、丸山隆浩
    • 権利者名
      名城大学
    • 産業財産権番号
      特願2010-284762
    • 出願年月日
      2010-12-26

URL: 

公開日: 2012-07-19  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi