2011 年度研究成果報告書

非線形弾性力により従来比1万倍の力を発生する静電マイクロアクチュエータ

研究課題

研究課題/領域番号	21560263
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	山口大学
研究代表者	南和幸山口大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (00229759)
研究分担者	中島雄太山口大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (70574341) 木下勝之山口大学, 大学院・理工学研究科, 講師 (80325240)
研究期間 (年度)	2009 – 2011
キーワード	MEMS / マイクロアクチュエータ
研究概要	電極間に発生する静電気力と非線形な特性を持つバネとを協働させる駆動方式を考案し、この方式により動く静電マイクロアクチュエータを提案した。有限要素法を用いた詳細なシミュレーションにより、以前よりも931倍も高出力な静電マイクロアクチュエータを設計した。更なる形状・寸法の改善や加工技術の高精度化ができれば、以前のものより1万倍以上高出力になることが分かり、新方式の優秀性を証明した。また、試作の実施により、実際に製作する上での問題点も実験的に明らかにした。