分極制御による薄膜材料の多元的圧電特性評価技術の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21560328
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 神戸大学 (2011); 京都大学 (2009-2010)
• 研究代表者: 神野 伊策 神戸大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70346039)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 圧電 / 薄膜 / 圧電すべり効果 / 圧電横効果 / PZT / MEMS

研究概要

強誘電体薄膜材料の分極状態を制御することで薄膜材料の圧電特性を高精度に計測する技術を開発し,分極が圧電特性に与える影響を明らかにする.特に薄膜材料の圧電すべり特性はこれまで報告例がほとんどなく,本研究では特に圧電すべり特性を解明することで,薄膜材料の圧電効果をさらに向上させるための知見を得る.またこれらの結果を基に新しい薄膜圧電材料の創出および特性向上を目的としている.

研究成果

• [雑誌論文] Sol-gel deposition and piezoelectric properties of{110}-oriented Pb(Zr0. 52Ti0. 48) O3 thin films (2010)
  • 著者名/発表者名: D. Ambika, V. Kumar, H. Imai, I. Kanno
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 巻: Vol.96 ページ: 031909
• [雑誌論文] Orientation Dependence of Shear Mode Piezoelectric Properties of Epitaxial Pb(Zrx, Ti1-x) O3 Thin Films (2010)
  • 著者名/発表者名: K. Akama, I. Kanno, R. Yokokawa, K. Wasa, H. Kotera
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 49 ページ: 09MA07
• [雑誌論文] Orientation Dependence of Transverse Piezoelectric Properties of Epitaxial BaTiO3 Films (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Imai, I. Kanno, R. Yokokawa, K. Wasa, H. Kotera
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 49 ページ: 09MA09
• [雑誌論文] Evaluation of Intrinsic Shear Piezoelectric Coefficient d15 of c-Axis Oriented Pb(Zr, Ti) O3 Films (2009)
  • 著者名/発表者名: I. Kanno, K. Akama, K. Wasa, H. Kotera
  • 雑誌名: Appl. Phys. Express 巻: Vol.2 ページ: 091402
• [学会発表] 圧電薄膜を用いたMEMSデバイス開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 神野伊策
  • 学会等名: 第18回『エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術』
  • 年月日: 20120000
• [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
  • 学会等名: 応用物理学会春期講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] 配向制御したBaTiO3膜の結晶構造および圧電特性評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
  • 学会等名: 応用物理学会春期講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の配向依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
  • 学会等名: 第27回強誘電体応用会議
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] BaTiO3膜の配向制御および圧電特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 今井英之, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
  • 学会等名: 応用物理学会秋期講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 20090000
• [学会発表] エピタキシャルPZT薄膜における圧電すべり効果の定量的評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 赤間健司, 神野伊策, 和佐清孝, 小寺秀俊
  • 学会等名: 応用物理学会秋期講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 20090000