研究課題
若手研究(B)
走査型X 線顕微鏡の性能を向上させるために,2枚の楕円ミラーを並列に並べた新しい集光光学系を開発した.その性能を評価するために,SPring-8で11.5keVのX線をミラーに反射させその集光径を調べた.単枚のミラーを1次元集光させたところ,46nm(FWHM)が得られた.また,2枚のミラーで2次元集光させたところ,206nm(FWHM)を実現した.
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