研究課題
若手研究(B)
本研究では低気圧大電流放電である擬火花放電プラズマジェットをプラズマ源に用いた新たなダイヤモンドライクカーボン薄膜作製装置の開発を行った。プラズマジェット中のイオン密度は10^<20>m^<-3>オーダーであり、高密度なプラズマが半径50mm内に撃ち出されていることがわかった。プラズマジェットの撃ち出しは陽極孔、電極間距離、放電電流、ガス流に依存するが、放電電流による電磁力の効果は本実験条件では確認できなかった。成膜実験を行った結果、シリコン基板上への膜の堆積に成功した。
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放電研究 第52巻, 第2号
ページ: 51-55