微細テフロン導波管回路の開発と集積化に関する研究

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760263
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 岡山県立大学
• 研究代表者: 岸原 充佳 岡山県立大学, 情報工学部, 准教授 (50336905)
• 連携研究者: 内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (80326298)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管フィルタ / 導波管カプラ

研究概要

本研究は,放射光によるテフロンの微細加工を行い,表面への金属の蒸着を施すことでミリ波やそれ以上のサブミリ波領域の周波数で応用が可能な微細導波管回路素子を構成する技術の開発を試みた.これにより,曲がりや不連続を集積した形状のアイリス結合バンドパスフィルタおよび空気領域ポストを持つ十字形3dB方向性結合器を放射光直接エッチングとAuスパッタ・電解メッキで完成させ,本加工法の有用性を明らかにした.

研究成果

• [雑誌論文] 誘電体ポストを用いたH面導波管十字交差形方向性結合器の設計 (2011)
  • 著者名/発表者名: 岸原充佳, 太田勲, 河合正, 大久保賢祐
  • 雑誌名: 電子情報通信学会論文誌(C) vol.J94-C, no.7掲載決定
  • 査読あり
• [雑誌論文] 放射光直接エッチングによるテフロン導波管BPFの試作と評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 岸原充佳, 太田勲, 河合正, 大久保賢祐
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 vol.110, MW2010-19 ページ: 29-33
• [学会発表] Design and Fabrication of PTFE-Filled Waveguide Cruciform Coupler with Air-Filled Posts (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Kishihara, H.Ikeuchi, K.Murai, T.Azeta, Y.Utsumi, T.Kawai, I.Ohta
  • 学会等名: 2011 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, THPL-2 採択済
  • 発表場所: Baltimore, USA
  • 年月日: 2011-06-09
• [学会発表] 空気領域ポストを用いたテフロン導波管十字ハイブリッドの試作 (2010)
  • 著者名/発表者名: 岸原充佳, 池内裕章, 村井克弥, 畔田吏, 内海裕一, 河合正, 太田勲
  • 学会等名: 2010年電子情報通信学会ソサイエティ大会,C-2-43, p.79
  • 発表場所: 大阪府立大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] Fabrication of PTFE-Filled Waveguide Bandpass Filter Using SR Direct Etching (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Kishihara, M.Kato, H.Ikeuchi, K.Murai, Y.Ukita, Y.Utsumi, T.Kawai, I.Ohta
  • 学会等名: 2010 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, pp.1724-1727, THPQ-3
  • 発表場所: Anaheim, USA.
  • 年月日: 2010-05-27
• [学会発表] 放射光エッチングによるテフロン導波管BPFの試作 (2010)
  • 著者名/発表者名: 岸原充佳, 加藤宗彦, 池内裕章, 村井克弥, 浮田芳昭, 内海裕一, 河合正, 太田勲
  • 学会等名: 2010年電子情報通信学会総合大会,C-2-74, p.117
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2010-03-17