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2010 年度 研究成果報告書

完全空乏型SOI技術を用いたテラヘルツ帯高感度センサー用極低温LSIの開発

研究課題

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研究課題/領域番号 21760321
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 計測工学
研究機関独立行政法人宇宙航空研究開発機構

研究代表者

永田 洋久  独立行政法人宇宙航空研究開発機構, 宇宙科学研究所, 研究員 (20399299)

研究期間 (年度) 2009 – 2010
キーワード赤外線天文学 / 極低温読み出し回路 / 光伝導型検出器 / 完全空乏型SOI-CMOS / テラヘルツ / 高感度計測 / 科学衛星
研究概要

高感度遠赤外線半導体センサーの大フォーマット化技術である絶対温度2K前後で駆動するアナログ集積回路の研究に取り組んだ。本課題では極低温用途のプロセスとして完全空乏型SOI-CMOS プロセスに着目し、FET単体での評価において、2K冷却時も特性劣化が少なく雑音特性も許容範囲内であることを実験的に確認した。続いて同プロセスでOPアンプ、フリップフロップ等の基本回路を試作・評価し、期待通りの性能を有することを示した。即ち、完全空乏型SOI-CMOSプロセスを使うことで極低温で駆動可能な基本回路レベルの開発ができることが実証された。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Cryogenic Readout Electro nics for Space Borne Far-Infrared Imag e Sensors2010

    • 著者名/発表者名
      H.Nagata, T.Wada, H.Ikeda, Y.Arai, M.Ohno.
    • 雑誌名

      信学技報IEICE Technical Report ANE2010-108

      ページ: 22 9-234

  • [雑誌論文] Development ofcryogenic readout electronics using Fully depleted silicon-on-insulator CMOS process for future space borne far-infrared image sensors2009

    • 著者名/発表者名
      H.Nagata, T.Wada, H.Ikeda, Y.Arai, M.Ohno.
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings 1185

      ページ: 286-289

    • 査読あり
  • [学会発表] 高感度遠赤外線カメラへの応用を目指した極低温CMOS回路の開発2010

    • 著者名/発表者名
      永田洋久、和田武彦、池田博一、新井康夫、大野守史
    • 学会等名
      日本赤外線学会(奨励賞受賞)
    • 発表場所
      立命館大学びわこ・くさつキャンパス
    • 年月日
      2010-11-04
  • [学会発表] Cryogenic Readout Electronics for Space Borne Far-Infrared Image Sensors.2010

    • 著者名/発表者名
      H.Nagata, T.Wada, H.Ikeda, Y.Arai, M.Ohno.
    • 学会等名
      International Conference on Space, Aeronautical and Navigational Electronics 2010.(招待講演)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2010-10-28
  • [学会発表] Development ofcryogenic readout electronics for astronomical far-infrared cameras.2009

    • 著者名/発表者名
      H.Nagata, T.Wada, H.Ikeda, Y.Arai, M.Ohno.
    • 学会等名
      第9回日本-台湾マイクロエレクトロニクス国際シンポジウム(招待講演)
    • 発表場所
      東大VDEC
    • 年月日
      2009-10-28

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公開日: 2012-02-13   更新日: 2016-04-21  

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