超臨界流体技術を応用した酸化物セラミックス薄膜(無機材料薄膜)の合成装置を設計すると同時に有機金属化合物(薄膜材料合成用原料とその副反応物)の回収システムの導入を実施し、回収物から原料を再生するための化学反応プロセスの構築を目指すことを本研究の目的とする。これらを確立することで高効率の原料リサイクルシステムを備えた薄膜合成プロセスを実現することが本研究の最終的な課題である。 本研究では、(1)有機金属化合物をscCO_2により溶解抽出→分離するための回収システムの試作、(2)薄膜合成装置からの原料回収を念頭に置いた擬似的実験系での化合物回収実験、および(3)薄膜合成装置と化合物回収プロセスの連動による未反応原料や副生成物の回収・再利用の可能性についての検討を実施した。その結果、TiO_2薄膜合成用原料であるTi含有β-ジケトナト錯体のscCO_2における溶解および分解挙動に関する知見が得られ、原料からTiO_2薄膜への反応のメカニズムを明らかにすることができた。
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