| 研究課題/領域番号 |
21K04100
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21030:計測工学関連
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
野里 英明 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長 (60415726)
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| 研究分担者 |
下田 智文 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 (60880763)
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| 研究期間 (年度) |
2021-04-01 – 2024-03-31
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| キーワード | 三軸加速度センサ / 評価技術 / デジタル出力 / 微小変位 / レーザ干渉計 |
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| 研究成果の概要 |
低ノイズのMEMS三軸加速度センサへの入力値を測定するレーザ干渉計や信号収録装置・プログラムを改良した。またホプキンソン棒に対して、積層型圧電素子を用いた再現性の高い微小変位の発生可能な電気的な加振方法を開発した。さらに、SPIのデジタル信号を収録するモジュールと振動変位を計測するレーザ干渉信号を収録するモジュールの同期計測を可能とし、デジタル出力型加速度センサの感度だけでなく、位相シフトも評価可能なシステムを製作した。
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| 自由記述の分野 |
計測工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年ダムやビル、橋梁等の社会インフラの老朽化が進んでおり、我が国の社会問題となっている。これら社会インフラの劣化診断を行う有力なツールの一つとして、安価で大量生産が可能となってきたMEMS型加速度センサを用いた常時モニタリングがある。そのため、低周波で微小変位を計測するためのMEMS三軸加速度センサの周波数応答に対する評価技術を確立することは重要な技術課題である。
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