研究課題
若手研究
本研究の目的は、フェムト秒EUVレーザーを用いたナノメートル分解能レーザー加工の確立である。フェムト秒レーザーの高次高調波としてEUVレーザーを発生させ、高精度に加工したWolterミラーでサブミクロンサイズまで集光し、試料表面に照射する。種々の金属試料に対して加工テストを実施し、照射箇所を原子間力顕微鏡で計測したところ、サブミクロン加工が進行していることを確認した。
EUV光学
本研究の成果により、フェムト秒EUVレーザーを用いた物質のナノメートル分解能レーザー加工が可能であることが実証された。EUVは、物質への光侵入深さが極めて短いことから、可視光よりも少ないパルスエネルギーで加工を進行させることができる。すなわち、被加工物へと投入される熱量を低減させることができる。加工装置全体を真空中に設置する必要があるものの、熱影響を避ける必要のある微細加工の需要に応えうる技術であり、産業応用への展開が期待される。