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2022 年度 研究成果報告書

機械学習による高速STEM像の高精度化および3次元転位その場観察への応用

研究課題

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研究課題/領域番号 21K20491
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分基金
審査区分 0401:材料工学、化学工学およびその関連分野
研究機関九州大学

研究代表者

井原 史朗  九州大学, 先導物質化学研究所, 助教 (60909745)

研究期間 (年度) 2021-08-30 – 2023-03-31
キーワード走査透過電子顕微鏡法 / 深層学習 / その場観察 / 転位
研究成果の概要

走査透過電子顕微鏡法(STEM)によってその場観察にも適用できるような高速撮像を行うと,STEM特有のノイズや像ひずみが生じる.このことから,事実上,STEMをその場観察に用いることは不可能であった.本研究では,STEMによる高速撮像に伴う像ひずみ補正アルゴリズムを開発すると共に,深層学習によるノイズ除去を行った.更に,このように開発された画像処理手法をTEM内その場観察にも適用し,本手法の汎用性を示した.

自由記述の分野

金属材料

研究成果の学術的意義や社会的意義

STEMはTEMで扱える範囲よりも厚い試料を観察可能である等,広く用いられているTEMよりも優れた点が多いものの,高速撮像には不向きであったことから,これまでその場観察に用いられることは少なかった.本研究で開発した手法によって,高速かつ高品質な像取得が可能となり,STEMを用いたその場観察をより実用化に近づけられた.今後,ナノスケールにおける動的な現象の解明に貢献し得ると考えられる.

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公開日: 2024-01-30  

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