| 研究課題/領域番号 |
22246004
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
天野 浩 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (60202694)
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| 研究分担者 |
山口 雅史 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20273261)
本田 善央 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60362274)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| キーワード | 結晶成長 / 可視長波長 LED / 圧力印加有機金属化合物気相成長法 |
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| 研究概要 |
10 気圧まで加圧可能な有機金属化合物気相成長(MOVPE)装置を設計、 外注し、その装置を用いて InGaN 成長を行った。炉内圧力増加と共にキャリアガスの熱伝導率が上昇し、原料が基板手前で分解してしまい輸送されない問題が実験開始当初生じた。そのためフローチャネル部材をグラファイトから熱伝導率の低い石英に変更するなどの改造を行った。結果、基板への原料供給問題は解決し、当初の目的である InGaN の MOVPE 成長における加圧効果を確かめることができた。圧力 6 気圧において高温で量子井戸を作製したところ 1 気圧と比べ 120 nm 長波長で発光することがわかった。
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