金属／微小空隙／半導体構造アレイによる生体の電荷・準位分布分析デバイスの研究

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22360125
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 森田 瑞穂 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (50157905)
• 連携研究者: 三林 浩二 東京医科歯科大学, 生体材料工学研究所, 教授 (40307236)
• 研究期間 (年度): 2010-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: シリコン / シリコン酸化膜 / 微小空隙 / 電荷分析 / センシングデバイス

研究概要

金属/微小空隙/絶縁体/半導体構造デバイスの容量-電圧測定によるデオキシリボ核酸ハイブリダイゼーションの電気センシングを実証した。デオキシリボ核酸のハイブリダイゼーションは、センシングデバイスの容量-電圧曲線のシフトから解析した。金属/微小空隙/絶縁体/半導体構造デバイスは、デオキシリボ核酸ハイブリダイゼーションと非ハイブリダイゼーションを識別できることを実証した。金属/微小空隙/絶縁体/半導体構造アレイの容量-電圧測定による純水の電気センシング動作を実証した。

研究成果

• [学会発表] Efficient and Scalable Liquid Handling in Micro/Nano-fluidic System for biomedical applications (2013)
  • 著者名/発表者名: Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
  • 学会等名: PROGRAM AND ABSTRACT, Collaborative Conference on 3D & Materials Research
  • 発表場所: Jeju, South Korea
  • 年月日: 2013-06-24
• [学会発表] NOMALLY-CLOSED VALVE INTEGRATION FOR PNEUMATIC ACTUATORS (2013)
  • 著者名/発表者名: Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
  • 学会等名: TRANSDUCERS 2013 & EUROSENSORS XXVII
  • 発表場所: Barcelona, Spain
  • 年月日: 2013-06-17
• [学会発表] Nanogap electrochemical DNA sensor using flat band voltage shift (2012)
  • 著者名/発表者名: Takuya Juro, Kentaro Kawai, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
  • 学会等名: PROGRAM AND ABSTRACTS, 8th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2012-11-11
• [学会発表] Label-Free Detection of DNA Using Metal-Gap-Metal-Insulator-Semiconductor Devices (2012)
  • 著者名/発表者名: Takashi Furukawa, Yasunori Nakamukai, Yuichi Doi, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2012-10-23
• [学会発表] Label-Free Detection of DNA Hybridization Using Metal-Gap-Oxide-Silicon Structures (2012)
  • 著者名/発表者名: Yuichi Doi, Sonoko Nishiue, Takashi Furukawa, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2012-10-23
• [学会発表] Non-FET electrochemical DNA detection using metal-gap-oxide-silicon structures (2012)
  • 著者名/発表者名: Kentaro Kawai, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
  • 学会等名: PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
  • 発表場所: Honolulu, USA
  • 年月日: 2012-10-09
• [学会発表] Metal-gap-oxide-silicon sensor for electrochemical DNA detection by flat band voltage shift (2012)
  • 著者名/発表者名: Kentaro Kawai, Takuya Juro, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
  • 学会等名: 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
  • 発表場所: Toulouse, France
  • 年月日: 2012-09-17
• [学会発表] Continuous Generation of Femtoliter Droplets Using Multistage Dividing Microfluidic Channel (2011)
  • 著者名/発表者名: Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, Shuichi Shoji and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2011-11-01
• [学会発表] Electrical Sensing of DNA Solutions by Lateral Silicon-Oxide-Gap-Oxide-Silicon Structure on Silicon-on-Insulator Substrate (2011)
  • 著者名/発表者名: Taiji Kamiya, Takashi Furukawa, Yuichi Doi, Ryuta Yamada, Kentarou Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2011-11-01
• [学会発表] Electrical Characteristics of Metal-Gap-Oxide-Silicon Structures (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2011-11-01
• [学会発表] Electrical Characteristics of Metal-Gap-Silicon and Metal-Gap-Oxide-Silicon Structures (2011)
  • 著者名/発表者名: Takashi Furukawa, Yuuichi Doi, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2011-11-01
• [学会発表] Photonic and Biosensing Devices Using Silicon Technologies (2010)
  • 著者名/発表者名: Mizuho Morita, Junichi Uchikoshi and Kenta Arima
  • 学会等名: Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2010-11-26
• [学会発表] Electrical Characterization of DNA Solutions Using Metal-Gap-Insulator-Semiconductor Devices (2010)
  • 著者名/発表者名: Takaaki Hirokane, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2010-11-24
• [学会発表] Sensing of DNA Solution by Silicon-Oxide-Gap-Oxide-Silicon Structure (2010)
  • 著者名/発表者名: Taiji Kamiya, Ryuta Yamada, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
  • 学会等名: Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2010-11-24
• [備考]
  • URL: http://www-pm.prec.eng.osaka-u.ac.jp/