スパッタリング・ターゲット用高融点金属の高純度精製

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22360311
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 金属生産工学
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 三村 耕司 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (00091752)
• 研究分担者: 一色 実 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20111247)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 高純度金属 / 高純度精製 / 水素プラズマ溶解 / モリブデン / バナジウムジルコニウム / 減圧水素プラズマ

研究概要

ULSI等電子デバイス製造に必須なスパッタリング・ターゲット用高純度金属(Mo,V,Zr)を対象に、特殊溶解法〔水素プラズマ溶解(HPAM),電子ビーム溶解(EBM)等〕による高純度化を検討した。HPAMは常圧溶解であるにも拘らず、高真空EBMと同様に高蒸気圧の金属不純物(Fe,Al,Cr等)の蒸発除去に優れ、さらに目的の高融点金属の蒸発損失を低く抑えた効率的な高純度精製が可能な事を実証した。また、減圧HPAMでは常圧HPAMより一層精製効果が向上する事を初めて明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] Preparation of high purity metals for advanced devices (2011)
  • 著者名/発表者名: 一色実、三村耕司、打越雅仁
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: Vol.519 ページ: 8451 -8455
  • DOI: DOI:10.1016/j.tsf.2011.05.038
  • 査読あり
• [雑誌論文] 金属の高純度精製プロセス (2011)
  • 著者名/発表者名: 三村耕司、打越雅仁、一色実
  • 雑誌名: 金属 巻: 81巻 ページ: 941-948
  • URL: http://www.agne.co.jp/kinzoku/
• [雑誌論文] Hydrogen effect on refining of Mometal by Ar-H2 plasma arc melting (2010)
  • 著者名/発表者名: J.W.Lim, 三村耕司 , D.Miyawaki, J.M.Oh, G.S.Choi, S.B.Kim, 打越雅仁、一色実
  • 雑誌名: Materials Letters 巻: Vol.64 ページ: 2290-2292
  • DOI: DOI:10.1016/j.matlet.2010.07.067
  • 査読あり
• [学会発表] Effect of oxygen content on hydrogenation of vanadium andhydrogen diffusion in the monohydride phase (2012)
  • 著者名/発表者名: 浅野耕太、林繁信、 三村耕司 、榎浩利、 中村優美子
  • 学会等名: International Symposium on Metal-Hydrogen Systems 2012
  • 発表場所: Kyoto, Japan
  • 年月日: 2012-10-21
• [学会発表] Vの水素化反応と1水素化物相中の水素の拡散に及ぼす酸素の影響 (2012)
  • 著者名/発表者名: 浅野耕太、林繁信、三村耕司、榎浩利、中村優美子
  • 学会等名: 日本金属学会
  • 発表場所: 愛媛大学(松山市)
  • 年月日: 2012-09-18
• [学会発表] 水素プラズマ溶解による金属Moの溶解精製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三村耕司、宮脇大、打越雅仁、一色実
  • 学会等名: 日本金属学会
  • 発表場所: 横浜国立大(横浜市)
  • 年月日: 2012-03-29
• [学会発表] Hydrogen plasma arc melting and refining of refractory metals (2011)
  • 著者名/発表者名: 三村耕司、一色実
  • 学会等名: International Symposium ofMaterials Integration
  • 発表場所: 東北大学(仙台市)
  • 年月日: 2011-12-01