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2012 年度 実績報告書

表面拡散による形態変化を利用したシリコン表面における三次元微細構造形成

研究課題

研究課題/領域番号 22560023
研究機関大阪大学

研究代表者

須藤 孝一  大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (90314426)

研究分担者 内藤 宗幸  甲南大学, 理工学部, 准教授 (10397721)
研究期間 (年度) 2010-04-01 – 2013-03-31
キーワードシリコン / 微細構造 / 表面拡散
研究概要

シリコン基板上に様々なアスペクト比の微細ホールパターンを形成し、水素雰囲気もしくは超高真空中で高温アニールした時の形態変化の様子を調べた。その結果、ホールのアスペクト比によって、基板中に形成される空洞層の層数を制御できることを明らかにした。さらに、連続体モデルに基づく数値シミュレーションにより、高アスペクト比微細ホールの形態変化について理論的に解析した。その結果、高アスペクト比ホールが表面拡散によって変形する際、開口近傍で構造不安定化が起こり、開口が自発的に閉塞することを明らかにした。また、微細ホールパターンの形態変化における表面エネルギーの異方性の影響も明らかにし、数値シミュレーションによって微細ホールパターンの形態変化を定量的な予測することが可能となった。
上記の基礎研究と並行して、表面拡散を利用して作製したSilicon-on-nothing(SON)構造の応用に関する研究も進めた。まず、SON構造表面をナノスケールで平坦化するためのアニール処理技術を確立した。さらに、SON構造を利用して単結晶シリコン・ナノメンブレンの形成を試みた。SON構造における1ミクロン程度のシリコン・メンブレンを反応性イオンエッチングによって100ナノメートル以下の厚さまで薄膜化できることを示した。また、収束イオンビームを利用してSON構造からシリコン膜を機械的に切り出す事にも成功し、本研究で作製したSON構造がシリコン・メンブレンを利用したデバイス作製に利用できることを実証した。特に、本研究では、SONメンブレンを利用してシリコン・ナノワイヤを作製し、その力学特性の評価を行った。

現在までの達成度 (区分)
理由

25年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

25年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] Application of Silicon on Nothing Structure for Developing a Novel Capacitive Absolute Pressure Sensor2014

    • 著者名/発表者名
      X. Hao, S. Tanaka, A. Masuda, J. Nakamura, K. Sudoh, K. Maenaka, H. Takao, K. Higuchi
    • 雑誌名

      IEEE Sensors J.

      巻: 14 ページ: 808-815

    • DOI

      10.1109/JSEN.2013.2288681

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nano-Scale Tensile Testing and Sample Preparation Techniques for Silicon Nanowires2013

    • 著者名/発表者名
      T. Fujii, K. Sudoh, S. Sakakihara, M. Naito, S. Inoue, T. Namazu
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 110118-1-9

    • DOI

      10.7567/JJAP.52.110118

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Shape Evolution of High Aspect Ratio Holes on Si(001) during Hydrogen Annealing2013

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh, R. Hiruta, H. Kuribayashi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 114 ページ: 183512-1-6

    • DOI

      10.1063/1.4829912

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of Silicon-on-Nothing Structures with Extremely Flat Surfaces2013

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh, J. Nakamura, M. Naito, K. Higuchi, K. Maenaka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 075601-1-4

    • DOI

      10.7567/JJAP.52.075601

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Focused Ion Beam Induced Surface Damage Effect on the Mechanical Proerties of Silicon Nanowires2013

    • 著者名/発表者名
      T. Fujii, T. Namazu, K. Sudoh, S. Inoue
    • 雑誌名

      Journal of Engineering Materials and Technology

      巻: 135 ページ: 041002-1-7

    • DOI

      10.1115/1.4024545

    • 査読あり
  • [学会発表] 表面拡散による形態変化を利用した超平坦シリコン・メンブレンの形成

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一、榊原昇一
    • 学会等名
      日本機械学会
    • 発表場所
      岡山大学津島キャンパス
  • [学会発表] Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一、蛭田玲子、栗林均
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス

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公開日: 2015-05-28  

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